[实用新型]高维持电压单向可控硅静电保护器件有效
申请号: | 202021099393.3 | 申请日: | 2020-06-15 |
公开(公告)号: | CN212010968U | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 茅寅松;吴岩 | 申请(专利权)人: | 上海安导电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02 |
代理公司: | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人: | 李佳俊;郭国中 |
地址: | 201499 上海市奉贤*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 维持 电压 单向 可控硅 静电 保护 器件 | ||
本实用新型提供了一种高维持电压单向可控硅静电保护器件,包括:N型埋层、深N阱、浅N阱和浅P阱;所述深N阱为环形,所述N型埋层位于所述深N阱的下侧;所述浅P阱包括浅P阱环和多个浅P阱条,所述浅P阱环位于所述深N阱的外侧,所述多个浅P阱条位于所述深N阱的内侧;所述浅N阱包括多个浅N阱条,所述多个浅P阱条和所述多个浅N阱条之间一一间隔排列,且最外侧的两个所述浅N阱条分别位于所述深N阱中。本实用新型具有高失效电流、高维持电压和版图面积小等特点,能有效防止闩锁效应。能对I/O端口进行有效防护。
技术领域
本实用新型涉及电子电路领域,具体地,涉及一种高维持电压单向可控硅静电保护器件。
背景技术
可控硅(SCR:Silicon Controlled Rectifier)是可控硅整流器的简称。可控硅有单向、双向、可关断和光控几种类型。它具有体积小、重量轻、效率高、寿命长、控制方便等优点,被广泛用于可控整流、调压、逆变以及无触点开关等各种自动控制和大功率的电能转换的场合。
而传统的可控硅结构存在维持电压低的问题,存在闩锁效应。
实用新型内容
针对现有技术中的缺陷,本实用新型的目的是提供一种高维持电压单向可控硅静电保护器件。
根据本实用新型提供的一种高维持电压单向可控硅静电保护器件,包括:N型埋层、深N阱、浅N阱和浅P阱;
所述深N阱为环形,所述N型埋层位于所述深N阱的下侧;
所述浅P阱包括浅P阱环和多个浅P阱条,所述浅P阱环位于所述深N阱的外侧,所述多个浅P阱条位于所述深N阱的内侧;
所述浅N阱包括多个浅N阱条,所述多个浅P阱条和所述多个浅N阱条之间一一间隔排列,且最外侧的两个所述浅N阱条分别位于所述深N阱中。
优选地,所述浅N阱和浅P阱的上侧上分别设置有重掺杂区;
最外侧的两个所述浅N阱条上的重掺杂区分别作为阳极;
所述深N阱内侧的重掺杂区作为阴极。
优选地,最外侧的两个所述浅P阱条上还分别设置有浮空的P+重掺杂区。
优选地,N型埋层成型于P型基底和外延层之间,所述深N阱、所述浅N阱和所述浅P阱成型于所述外延层内。
优选地,所述深N阱内侧包括三个浅P阱条和两个浅N阱条。
优选地,所述高维持电压单向可控硅静电保护器件的版图呈轴对称结构,具有两条对称的正向电流泄放路径。
优选地,还包括金属层,提供金属走线。
与现有技术相比,本实用新型具有如下的有益效果:
1、器件阴极所在的浅P阱中内嵌两个条形浅N阱,两个浅N阱分别位于器件阴极N+重掺杂区下方,内嵌两个条形浅N阱能够增大寄生NPN三极管的发射极面积,达到提高失效电流的目的,同时能够改变寄生NPN基极电流路径,加速寄生NPN开启。
2、通过在单向可控硅器件阴极所在的浅P阱中靠近击穿面的两侧内嵌两浮空P+重掺杂区,提高器件的维持电压,使得器件的维持电压大于5V的工作电压,避免发生闩锁效应。
3、器件版图上下对称,具有两条对称的正向电流泄放路径,保证了器件的均匀导通性,避免电流过于集中而导致器件过早失效。
4、此单向可控硅器件通过一个NBL埋层,NBL埋层可以使得电流路径更深,使得器件维持电压更高,另外,环形深N阱与N型埋层可以起隔离作用,保证了静电放电器件的独立性,不会影响内核电路的正常工作。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的