[实用新型]一种用于提升晶体的单电机输入双丝杆传动结构有效
申请号: | 202021099747.4 | 申请日: | 2020-06-15 |
公开(公告)号: | CN213141253U | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 叶钢飞;胡建荣;倪军夫;阮文星;毛志飞;傅林坚;曹建伟 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | B66F7/00 | 分类号: | B66F7/00;B66F7/28 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 提升 晶体 电机 输入 双丝杆 传动 结构 | ||
本实用新型属于晶体生长设备领域,尤其是一种用于提升晶体的单电机输入双丝杆传动结构。包括伺服电机;伺服电机与行星减速机相连,行星减速机有两个输出,每个输出均通过联轴器连接蜗轮蜗杆减速机;每个蜗轮蜗杆减速机上连接有一丝杆,两个丝杆相互平行,水平的升降平台两端分别与每根丝杆相连,升降平台下端面设有升降轴,升降轴底端设有夹头,用于夹取晶体。本实用新型在符合大减速比要求下,结构简单紧凑,提高传动精度、减小晶体提升平台同步性误差。在符合大减速比要求下,结构简单紧凑,提高传动精度、减小晶体提升平台同步性误差。
技术领域
本实用新型属于晶体生长设备领域,尤其是一种用于提升晶体的单电机输入双丝杆传动结构。
背景技术
现有双丝杆提升晶体的传动结构采用两个丝杆分别与蜗轮蜗杆减速机、电机连接实现。但在实现大减速比要求下,双级蜗轮蜗杆减速机的传动精度误差都比较大,会导致丝杆同步性变差,升降平台的水平发生变动;每个丝杆分别与单独的电机、蜗轮蜗杆减速机相连,会存在双电机本身的同步性误差。在双电机输入存在误差、双级蜗轮蜗杆减速机传动精度误差大的情况下,双电机双丝杆提升晶体结构无法在减速比大于150,丝杆同步性高环境下应用。
发明内容
为了克服双电机输入造成的丝杆同步性精度低问题,本实用新型提供一种用于提升晶体的单电机输入双丝杆传动结构。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
提供一种用于提升晶体的单电机输入双丝杆传动结构,包括伺服电机;伺服电机与行星减速机相连,行星减速机有两个输出,每个输出均通过联轴器连接蜗轮蜗杆减速机;每个蜗轮蜗杆减速机上连接有一丝杆,两个丝杆相互平行,水平的升降平台两端分别与每根丝杆相连,升降平台下端面设有升降轴,升降轴底端设有夹头,用于夹取晶体。
作为一种改进,伺服电机为带抱闸伺服电机。
作为一种改进,蜗轮蜗杆减速机为带有自锁功能蜗轮蜗杆减速机。
本实用新型的原理是:伺服电机带抱闸功能与行星减速机相连,通过行星减速机进行第一级减速并变成两个输出,2个蜗轮蜗杆减速机通过2个联轴器与双输出的行星减速机相连、蜗轮蜗杆减速机与丝杆通过键联接在一起,2个丝杆通过丝杆螺母带动升降平台进行升降,升降平台通过轴连接到晶体上,从而实现单电机输入双丝杆提升晶体。
在晶体升降要求慢速情况下,减速比会大于150情况下,单级的蜗轮蜗杆减速机无法实现,且减速比越大的蜗轮蜗杆减速机的传动精度越差。通过行星减速机与蜗轮蜗杆减速机实现双级减速,可实现减速比大于150的设计要求,行星减速机能够保证双输出之间同步,通过双输出的行星减速机与蜗轮蜗杆减速机相连,能避免行星减速机本身精度误差。在实现大于150的减速比要求下,双丝杆同步性只受到单级蜗轮蜗杆减速机传动精度影响,从而实现丝杆较高的同步性,晶体稳定提升。
为了保证晶体在任何时候都不会下溜,升降平台在整个生命周期中不允许下滑,单级蜗轮蜗杆减速机可设计成具备自锁性,使得升降平台在任何情况下不会下滑。单电机输入通过行星减速机减速并变成两个完全同步的输出,避免了双电机输入有可能造成的同步性问题。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
在符合大减速比要求下,结构简单紧凑,提高传动精度、减小晶体提升平台同步性误差。
附图说明
图1是本实用新型原理图。
图2是一个实施例的结构图。
图中:1-伺服电机;2-行星减速机;3-联轴器;4-蜗轮蜗杆减速机;5-丝杆;6-升降平台;7-晶体连接轴;8-晶体。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
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