[实用新型]一种平整度可调的承载平台及检测装置

说明书

本实用新型涉及基板检测技术领域，尤其涉及一种平整度可调的承载平台及检测装置。其中，平整度可调的承载平台包括支架、多个承载件和与多个承载件一一对应设置的多组调整组件，多个承载件形成用于承载工件的承载面；支架上设置有支撑槽，承载件的一端设置在支撑槽中；调整组件包括调整座和调高件，调整座固定在支架上并与支撑槽形成容纳空间，承载件能够在容纳空间中沿竖直方向移动；调高件的一端穿过调整座并与承载件螺纹连接，且调高件的端部能够伸出承载件并与支撑槽的槽底面相抵接，通过旋拧调高件，以调整调高件的伸出长度，从而实现调整承载件的高度和/或水平度，进而调整承载面的平整度，结构简单，便于操作，能够提高操作效率。

技术领域

本实用新型涉及基板检测技术领域，尤其涉及一种平整度可调的承载平台及检测装置。

背景技术

在基板检测过程中，需要将基板放置在平台上，然后利用相机对基板进行拍照，为了保证检测的精确度，提高取像质量，通常需要调整基板的平整度。而现有技术中的平台上的平整度调整机构结构复杂，且不便于平整度调整，使得检测效率低，影响产能。

因此，亟待需要一种新型的平整度可调的承载平台以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的一个目的在于提供一种平整度可调的承载平台，结构简单，便于操作，提高操作效率。

本实用新型的另一个目的在于提供一种检测装置，通过应用上述平整度可调的承载平台，能够保证工件的平整度，进而提高检测精确度。

为实现上述目的，提供以下技术方案：

一方面，提供了一种平整度可调的承载平台，包括：

支架，其上设置有支撑槽；

多个承载件，排列设置在所述支架上并形成用于承载工件的承载面，所述承载件的一端设置在所述支撑槽中；

多组调整组件，与多个所述承载件一一对应设置，所述调整组件包括：

调整座，固定在所述支架上并与所述支撑槽形成容纳空间，所述承载件能够在所述容纳空间中沿竖直方向移动；

调高件，其一端穿过所述调整座并与所述承载件螺纹连接，且所述调高件的端部能够伸出所述承载件并与所述支撑槽的槽底面相抵接，调整所述调高件的伸出长度以调整所述承载件的高度和/或水平度，进而调整所述承载面的平整度。

作为平整度可调的承载平台的优选方案，两个所述调整组件为一组，两个所述调整组件分别用于调整所述承载件两端的高度，以调整所述承载件的高度和/或水平度。

作为平整度可调的承载平台的优选方案，所述支架包括两个平行间隔设置的支撑板，每个所述支撑板上均设置有多个沿所述承载件排列方向间隔设置的所述支撑槽，每个所述承载件的两端分别设置在两个所述支撑板上的所述支撑槽中。

作为平整度可调的承载平台的优选方案，所述承载件的两端均设置有支撑部，所述支撑部设置在所述支撑槽中，且所述支撑部上设置有第一螺纹孔，所述调高件的一端与所述第一螺纹孔螺纹连接。

作为平整度可调的承载平台的优选方案，所述调整座上设置有第二螺纹孔，所述调高件穿过所述第二螺纹孔与所述第一螺纹孔螺纹连接。

作为平整度可调的承载平台的优选方案，所述调整组件还包括固定件，所述调整座上设置有第三螺纹孔，所述固定件与所述第三螺纹孔螺纹连接，且所述固定件的一端能够伸出所述第三螺纹孔并压紧在所述支撑部上，以固定所述承载件。

作为平整度可调的承载平台的优选方案，所述调整座的下表面为平面，所述平面与所述支撑槽形成所述容纳空间，且所述支撑槽的深度大于所述支撑部的高度；或

所述调整座的下表面上设置有凹槽，所述凹槽与所述支撑槽形成所述容纳空间，所述支撑槽的深度小于所述支撑部的高度。