[实用新型]一种蚀刻机料盒自动转移机构有效
申请号: | 202021112423.X | 申请日: | 2020-06-16 |
公开(公告)号: | CN212668489U | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 戴鹏飞 | 申请(专利权)人: | 南通通富微电子有限公司 |
主分类号: | B65G47/90 | 分类号: | B65G47/90;B65G43/08 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
地址: | 226017 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蚀刻 机料盒 自动 转移 机构 | ||
1.一种蚀刻机料盒自动转移机构,其特征在于,包括取盒单元、传送单元和放盒单元,所述取盒单元设置于靠近蚀刻机上料端的区域,被配置为从蚀刻机的上料端拾取空料盒,并将拾取的空料盒放至所述传送单元;所述传送单元被配置为传送来自所述取盒单元的空料盒至所述放盒单元;所述放盒单元设置于靠近蚀刻机下料端的区域,被配置为将所述传送单元传送过来的空料盒拾取至蚀刻机的下料端。
2.根据权利要求1所述的蚀刻机料盒自动转移机构,其特征在于,所述取盒单元和放盒单元对称设置在所述传送单元的两侧。
3.根据权利要求1所述的蚀刻机料盒自动转移机构,其特征在于,所述取盒单元包括第一支撑臂和活动连接在所述第一支撑臂上的第一机械手,所述第一机械手能够沿所述第一支撑臂在竖直方向升降运动以及在水平面内旋转运动。
4.根据权利要求1所述的蚀刻机料盒自动转移机构,其特征在于,所述放盒单元包括第二支撑臂和活动连接在所述第二支撑臂上的第二机械手,所述第二机械手能够沿所述第二支撑臂在竖直方向升降运动以及在水平面内旋转运动。
5.根据权利要求1所述的蚀刻机料盒自动转移机构,其特征在于,还包括设置于所述蚀刻机上料端的两个第一运输组件,所述两个第一运输组件中的其中一者用于接收装载有待蚀刻物料的料盒,并将待蚀刻物料运送至蚀刻机的入料口,另一者用于接收卸载待蚀刻物料后的空料盒。
6.根据权利要求5所述的蚀刻机料盒自动转移机构,其特征在于,还包括设置于所述蚀刻机下料端的两个第二运输组件,所述两个第二运输组件中的其中一者用于接收来自所述取盒单元的空料盒,并将所述空料盒运送至蚀刻机的出料口以收取蚀刻后物料,另一者用于接收装载有蚀刻后物料的料盒。
7.根据权利要求6所述的蚀刻机料盒自动转移机构,其特征在于,所述传送单元、两个第一运输组件和两个第二运输组件均为水平设置的传输带,其中,所述两个第一运输组件以及所述两个第二运输组件分别呈上下平行结构,所述传送单元的长度方向分别与所述两个第一运输组件和所述两个第二运输组件的长度方向呈垂直结构。
8.根据权利要求6所述的蚀刻机料盒自动转移机构,其特征在于,所述传送单元、两个第一运输组件和两个第二运输组件上分别设置有用于检测其上是否存在有料盒的至少一个感应装置。
9.根据权利要求8所述的蚀刻机料盒自动转移机构,其特征在于,所述感应装置为对射型光电传感器。
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