[实用新型]一种半导体SOT23固晶装置有效
申请号: | 202021116838.4 | 申请日: | 2020-06-16 |
公开(公告)号: | CN212365930U | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 朱仕镇 | 申请(专利权)人: | 深圳市三联盛科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 重庆卓茂专利代理事务所(普通合伙) 50262 | 代理人: | 许冲 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 sot23 装置 | ||
本实用新型公开了一种半导体SOT23固晶装置,包括抓取装置和点胶装置,抓取装置的上端安装有点胶装置,在点胶杆的正面和背面活动连接有活动杆,且点胶杆的下端安装有活动收集板,当点胶杆点完胶通过电动伸缩杆收缩上升后,活动杆带动活动收集板向上运动,使收集口对着点胶杆,防止点胶杆出现多余残胶下落滴在基板表面的情况,活动收集板的上端开设有圆弧下凹状收集口,当残胶滴落时可通过收集口落进收集板,方便对点胶杆下落的残胶进行收集。
技术领域
本实用新型涉及固晶装置技术领域,具体为一种半导体SOT23固晶装置。
背景技术
在半导体器件的封装过程中,固晶是极其重要的环节,固晶的过程是:首先由点胶机构(也称点胶模块)在基板的固晶工位上点胶,而后由固晶机构的固晶摆臂将半导体芯片从晶圆上取出,进而转移到已点好胶的固晶工位上。
根据公开号CN201822197615.4,在固晶流程中,点胶机构点完胶后,点胶杆上容易滴落下残胶,残胶的滴落在工位上时会大大影响固晶的效果。
针对上述问题。为此,提出一种半导体SOT23固晶装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体SOT23固晶装置,在点胶杆的正面和背面活动连接有活动杆,且点胶杆的下端安装有活动收集板,当点胶杆点完胶通过电动伸缩杆收缩上升后,活动杆带动活动收集板向上运动,使收集口对着点胶杆,防止点胶杆出现多余残胶下落滴在基板表面的情况,从而解决了上述背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体SOT固晶装置,包括抓取装置和点胶装置,抓取装置的上端安装有点胶装置,所述抓取装置包括主机、传送带、晶圆台、吸取组件和基板,主机的上端安装有传送带,主机的上端一侧安装有晶圆台,主机的内腔上端连接有吸取组件,传送带的上端安装有基板,主机的上端另一侧安装有点胶装置;
所述点胶装置包括支撑架、连接件、活动收集板、活动杆、点胶杆和电动伸缩杆,支撑架的侧面安装有连接件,连接件的侧面活动连接有活动收集板,活动收集板的正面和背面一侧均活动连接有活动杆,活动杆的另一端活动连接点胶杆,点胶杆的上端安装有电动伸缩杆。
优选的,所述活动收集板包括残胶收集仓、收集口、固定装置、燕尾槽和收集板,残胶收集仓的上端开设有收集口,残胶收集仓的上端一侧安装有固定装置,残胶收集仓的侧面开设有燕尾槽,燕尾槽与收集板滑动配合连接。
优选的,所述收集口为圆弧下凹状。
优选的,所述固定装置包括拉环、伸缩柱、弹簧、垫片和伸缩头,拉环的下端安装有伸缩柱,伸缩柱的外表面套接有弹簧,伸缩柱的下端安装有垫片,垫片的下端安装有伸缩头。
优选的,所述收集板包括磨砂面、拉手和固定孔,收集板的内腔底面开设有磨砂面,收集板的侧面安装有拉手,收集板的开设有固定孔。
优选的,所述伸缩头的直径与固定孔相匹配。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
1、本实用新型提出的一种半导体SOT固晶装置,在点胶杆的正面和背面活动连接有活动杆,且点胶杆的下端安装有活动收集板,当点胶杆点完胶通过电动伸缩杆收缩上升后,活动杆带动活动收集板向上运动,使收集口对着点胶杆,防止点胶杆出现多余残胶下落滴在基板表面的情况。
2、本实用新型提出的一种半导体SOT固晶装置,活动收集板的上端开设有圆弧下凹状收集口,当残胶滴落时可通过收集口落进收集板,方便对点胶杆下落的残胶进行收集。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造