[实用新型]具有高精密计时控制的浸泡装置有效

专利信息
申请号: 202021120771.1 申请日: 2020-06-17
公开(公告)号: CN212586326U 公开(公告)日: 2021-02-23
发明(设计)人: 刘子龙;马超 申请(专利权)人: 武汉鼎泽新材料技术有限公司;湖北鼎汇微电子材料有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00;B01D11/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 430057 湖北省武汉市经*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 具有 精密 计时 控制 浸泡 装置
【权利要求书】:

1.一种具有高精密计时控制的浸泡装置,其特征在于,包括自上而下依次连通设置的盛液容器(1)、浸泡容器(3)和回收容器(5),其中,所述盛液容器(1)和所述浸泡容器(3)的连通处设置上电控阀门(2),所述浸泡容器(3)和所述回收容器(5)的连通处设置下电控阀门(4),所述上电控阀门(2)和所述下电控阀门(4)分别连接至计时器(6),所述计时器(6)被配置为当所述上电控阀门(2)开启后能持续计时,当计时达到设定时间后发出开启所述下电控阀门(4)的信号。

2.根据权利要求1所述的具有高精密计时控制的浸泡装置,其特征在于,所述浸泡容器(3)内设置有栅格(31),所述栅格(31)与所述浸泡容器(3)的底壁之间形成间隔空间(32)。

3.根据权利要求2所述的具有高精密计时控制的浸泡装置,其特征在于,所述盛液容器(1)和所述浸泡容器(3)通过上连接管道(7)连通,所述浸泡容器(3)和所述回收容器(5)通过下连接管道(8)连通,所述上电控阀门(2)设置在所述上连接管道(7)处,所述下电控阀门(4)设置在所述下连接管道(8)处。

4.根据权利要求3所述的具有高精密计时控制的浸泡装置,其特征在于,所述盛液容器(1)、所述上电控阀门(2)中的液体流通管道、所述浸泡容器(3)、所述下电控阀门(4)中的液体流通管道、所述回收容器(5)、所述栅格(31)、所述上连接管道(7)和所述下连接管道(8)均由聚四氟乙烯制成。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的具有高精密计时控制的浸泡装置,其特征在于,所述盛液容器(1)和/或所述浸泡容器(3)的底壁边缘形成有倒角。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的具有高精密计时控制的浸泡装置,其特征在于,所述上电控阀门(2)和/或所述下电控阀门(4)为隔膜式电控阀门。

7.根据权利要求3或4所述的具有高精密计时控制的浸泡装置,其特征在于,所述盛液容器(1)、所述上电控阀门(2)、所述浸泡容器(3)、所述下电控阀门(4)、所述回收容器(5)、所述上连接管道(7)和所述下连接管道(8)中相邻两个结构之间可拆卸连接。

8.根据权利要求7中所述的具有高精密计时控制的浸泡装置,其特征在于,所述盛液容器(1)、所述上电控阀门(2)、所述浸泡容器(3)、所述下电控阀门(4)、所述回收容器(5)、所述上连接管道(7)和所述下连接管道(8)中相邻两个结构,位于上方的结构的出液管路插入位于下方的结构的进液口中。

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