[实用新型]一种降低低温泵震动影响的装置

说明书

本实用新型公开了一种降低低温泵震动影响的装置，包括减震机构、冷冻机主体、固定腔体和低温泵主体，所述固定腔体的底端固定有低温泵主体，且低温泵主体的底部固定有运送支架，所述运送支架的底端均匀设置有万向轮，且运送支架的一侧设置有冷冻机主体，且冷冻机主体靠近低温泵主体的一端通过波纹管与低温泵主体连接，所述冷冻机主体下方的运送支架上均匀固定有减震机构。本实用新型通过安装有低温泵主体、运送支架、冷冻机主体以及减震机构，运送支架顶部的一端均匀固定有减震机构，降低低温泵主体的震动，同时由直接与冷冻机主体串接改为使用下部支撑的结构形式，降低冷冻机主体本身震动所连带的影响，抱箍对冷冻机主体下部产生一定的托举作用，避免出现下垂的现象。

技术领域

本实用新型涉及低温泵减震结构技术领域，具体为一种降低低温泵震动影响的装置。

背景技术

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵，低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面，但是现有的低温泵依旧存部分问题，具体如下；

1、现有的低温泵在工作和移动的过程中容易产生震动，目前的减震方式是将冷冻机直接锁付于防震机构、防震机构再锁付于低温泵主体，长时间使用下，重量加上地吸引力之影响，容易有机构下垂的现象产生；

2、部分防震结构在与冷冻机固定连接时存在不便，而且容易对冷冻机的外侧造成刚性挤压；

3、部分防震结构在与冷冻机连接时不够紧密，受到震动时容易松动。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种降低低温泵震动影响的装置，以解决上述背景技术中提出的现有的防震方式容易造成部分机构下垂、减震结构容易对冷冻机造成刚性挤压以及连接不够紧密的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种降低低温泵震动影响的装置，包括减震机构、冷冻机主体、固定腔体和低温泵主体，所述固定腔体的底端固定有低温泵主体，且低温泵主体的底部固定有运送支架，所述运送支架的底端均匀设置有万向轮，且运送支架的一侧设置有冷冻机主体，且冷冻机主体靠近低温泵主体的一端通过波纹管与低温泵主体连接，所述冷冻机主体的两端均卡合有抱箍，且抱箍底部的两端均通过铰接轴相铰接，且抱箍顶部的两端均通过固定螺栓固定连接，所述冷冻机主体下方的运送支架上均匀固定有减震机构。

优选的，所述减震机构的内部均通过刚性弹簧设置有活动件，且活动件的顶端均与抱箍的底部固定连接，降低低温泵主体的震动影响。

优选的，所述抱箍内部的两侧均匀设置有聚力垫，且聚力垫均为锥形结构，所述聚力垫的一端均设置有翘边，且翘边均呈“W”结构，所述翘边与聚力垫为一体化成型，避免对冷冻机主体造成刚性挤压。

优选的，所述活动件均呈倒置的“U”型结构，且活动件底部的两端均设置有限位块，避免活动件滑脱。

优选的，所述固定螺栓的一端均设置有锁紧螺母，且锁紧螺母与抱箍的连接处均设置有间隔板，所述间隔板靠近锁紧螺母的一侧均固定有鼓包，且鼓包与锁紧螺母之间均设置有弹力条，提高连接的紧密性。

优选的，所述弹力条的两端抵在鼓包上，且弹力条为呈拱形结构的橡胶材质，避免锁紧螺母松动。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：