[实用新型]一种高纯铝平面靶材磨削装置

权利要求书

1.一种高纯铝平面靶材磨削装置，包括工作台(1)，所述工作台(1)上设置有电磁吸盘(2)和磨削组件(3)，所述磨削组件(3)位于所述电磁吸盘(2)的一侧，其特征在于：所述电磁吸盘(2)上设置有至少两个定位件(4)，所述定位件(4)包括固定连接的铁块(41)和铝块(42)，所述电磁吸盘(2)通过电磁力与所述铁块(41)吸附配合，所述铝块(42)用于与高纯铝平面靶材的侧壁抵接。

2.根据权利要求1所述的一种高纯铝平面靶材磨削装置，其特征在于：所述铁块(41)包括第一连接板(411)和第二连接板(412)，所述第一连接板(411)的一端与所述第二连接板(412)的一端固定连接，所述第一连接板(411)与所述第二连接板(412)之间的夹角为90°；所述铝块(42)包括第三连接板(421)和第四连接板(422)，所述第三连接板(421)与所述第一连接板(411)固定连接，所述第三连接板(421)的一端与所述第四连接板(422)连接，所述第四连接板(422)与所述第二连接板(412)连接，所述第三连接板(421)与所述第四连接板(422)之间的夹角为90°。

3.根据权利要求2所述的一种高纯铝平面靶材磨削装置，其特征在于：所述第四连接板(422)上设置有限位凸块(4221)，所述第二连接板(412)上设置有限位卡槽(4121)，所述限位凸块(4221)与所述限位卡槽(4121)卡接配合，所述第一连接板(411)通过胶粘剂与所述第三连接板(421)粘接。

4.根据权利要求2所述的一种高纯铝平面靶材磨削装置，其特征在于：所述第三连接板(421)或所述第四连接板(422)用于与高纯铝平面靶材抵接的面上开设有安装槽(423)，所述安装槽(423)内设置有压力传感器(5)。

5.根据权利要求2所述的一种高纯铝平面靶材磨削装置，其特征在于：所述第三连接板(421)上、所述第四连接板(422)上分别设置有用于与高纯铝平面靶材抵接的垫片(6)。

6.根据权利要求2所述的一种高纯铝平面靶材磨削装置，其特征在于：所述电磁吸盘(2)上设置定位槽(21)，一个所述铁块(41)的下端设置有定位块(43)，所述定位块(43)与所述定位槽(21)卡接配合。

7.根据权利要求1所述的一种高纯铝平面靶材磨削装置，其特征在于：所述磨削组件(3)包括X轴直线模组(31)、Y轴直线模组(32)、Z轴直线模组(33)、砂轮箱(34)、驱动电机和砂轮(35)，所述X轴直线模组(31)设置在所述工作台(1)上，所述Z轴直线模组(33)设置在所述X轴直线模组(31)上，所述Y轴直线模组(32)设置在所述Z轴直线模组(33)上，所述砂轮箱(34)设置在所述Y轴直线模组(32)上，所述驱动电机设置在所述砂轮箱(34)内，所述驱动电机的驱动轴与所述砂轮(35)连接，所述砂轮(35)的下端伸出所述砂轮箱(34)。