[实用新型]一种石墨舟双向校正工装有效
申请号: | 202021125823.4 | 申请日: | 2020-06-17 |
公开(公告)号: | CN212209436U | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 张孟彤 | 申请(专利权)人: | 上海弘枫实业有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 | 代理人: | 徐家豪 |
地址: | 201715 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 双向 校正 工装 | ||
1.一种石墨舟双向校正工装,其特征在于,包括底座和上盖,所述底座沿长度方向上间隔设置有若干下校正条,每一下校正条沿长度方向间隔设置有若干下校正槽,所述上盖沿长度方向上间隔设置有若干上校正条,每一上校正条沿长度方向间隔设置有若干上校正槽,下校正条和上校正条上对应的下校正槽和上校正槽位置对齐设置,使得石墨舟上同一片舟片的底端和顶端分别插入下校正槽和上校正槽中。
2.如权利要求1所述的一种石墨舟双向校正工装,其特征在于,所述上校正槽和下校正槽的槽口位置设置为扩口结构。
3.如权利要求1所述的一种石墨舟双向校正工装,其特征在于,所述底座上设置有驱动上盖活动的驱动装置。
4.如权利要求3所述的一种石墨舟双向校正工装,其特征在于,所述上盖的第一端铰接在所述底座的第一端上,驱动装置用以带动上盖绕底座的第一端翻转活动。
5.如权利要求4所述的一种石墨舟双向校正工装,其特征在于,驱动装置包括气动弹簧支撑杆,气动弹簧支撑杆的固定端铰接在所述底座的第一端,气动弹簧支撑杆的活动端铰接在上盖的第一端。
6.如权利要求5所述的一种石墨舟双向校正工装,其特征在于,所述底座上设置有滑动板,若干下校正条设置在所述滑动板上。
7.如权利要求6所述的一种石墨舟双向校正工装,其特征在于,滑动板的两端分别设置有供石墨舟的脚对应固定的定位块。
8.如权利要求5所述的一种石墨舟双向校正工装,其特征在于,所述底座的第一端和上盖的第一端设置有展开锁定机构,展开锁定机构在气动弹簧支撑杆运动到打开位置时锁定上盖和底座的展开角度。
9.如权利要求1所述的一种石墨舟双向校正工装,其特征在于,底座的第二端和上盖的第二端上设置有到位固定装置,确保上盖能够压紧到位。
10.如权利要求9所述的一种石墨舟双向校正工装,其特征在于,所述到位固定装置包括设置在底座第二端上的锁槽以及设置在上盖第二端上用以与锁槽配合的插脚,所述锁槽与插脚之间设置有销孔且通过锁紧销连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造