[实用新型]取放装置和类单晶铸锭籽晶铺设设备

权利要求书

1.一种类单晶铸锭籽晶铺设设备的取放装置，其特征在于，包括：

机械臂；

用于吸附籽晶的真空吸附装置，所述真空吸附装置设于所述机械臂的一端，所述机械臂带动所述真空吸附装置运动以运送籽晶；

驱动组件，所述驱动组件与所述机械臂连接以驱动所述机械臂运动。

2.根据权利要求1所述的类单晶铸锭籽晶铺设设备的取放装置，其特征在于，所述真空吸附装置包括：

支撑板，所述支撑板与所述机械臂的一端连接，且所述支撑板角度与所述机械臂的角度可调；

籽晶吸盘，所述籽晶吸盘设于所述支撑板，所述籽晶吸盘与所述籽晶对应以用于吸附所述籽晶。

3.根据权利要求2所述的类单晶铸锭籽晶铺设设备的取放装置，其特征在于，所述籽晶吸盘具有吸附孔和吸附气路，所述吸附气路与所述吸附孔连通。

4.根据权利要求3所述的类单晶铸锭籽晶铺设设备的取放装置，其特征在于，每个所述籽晶吸盘对应一条所述吸附气路。

5.根据权利要求4所述的类单晶铸锭籽晶铺设设备的取放装置，其特征在于，每个所述籽晶对应设置多个所述吸附气路，且多个所述吸附气路分为第一气路组合和第二气路组合，所述第一气路组合和所述第二气路组合彼此独立通断，所述第一气路组合与所述籽晶的中部区域对应，所述第二气路组合与所述籽晶的边缘区域和所述籽晶的中心位置对应。

6.根据权利要求5所述的类单晶铸锭籽晶铺设设备的取放装置，其特征在于，多条所述吸附气路包括第一分布列和第二分布列，所述第一分布列内分布多个所述吸附气路，所述第二分布列内分布多个所述吸附气路，所述第一分布列和所述第二分布列交叉分布。

7.根据权利要求6所述的类单晶铸锭籽晶铺设设备的取放装置，其特征在于，属于所述第二气路组合的所述吸附气路位于所述第一分布列的端部，属于所述第一气路组合的所述吸附气路位于所述第一分布列的中部；

属于所述第二气路组合的所述吸附气路位于所述第二分布列的端部，属于所述第一气路组合的所述吸附气路位于所述第二分布列的中部。

8.根据权利要求1所述的类单晶铸锭籽晶铺设设备的取放装置，其特征在于，所述机械臂为六轴机械臂。

9.根据权利要求1所述的类单晶铸锭籽晶铺设设备的取放装置，其特征在于，所述真空吸附装置设有距离测量装置，所述距离测量装置位于所述真空吸附装置的端部，所述距离测量装置用于检测所述真空吸附装置与坩埚内壁之间的距离。

10.根据权利要求9所述的类单晶铸锭籽晶铺设设备的取放装置，其特征在于，所述距离测量装置为激光测距传感器或红外光测距传感器。

11.一种类单晶铸锭籽晶铺设设备，其特征在于，包括根据权利要求1-10中任一项所述的类单晶铸锭籽晶铺设设备的取放装置。