[实用新型]一种检测镁金属蒸发的装置

权利要求书

1.一种检测镁金属蒸发的装置，其特征在于，包括反应仓(1)、中空连接管(2)、密封组件(3)和温度监测装置(4)，其中：

所述反应仓(1)内部设置有反应腔室(11)，所述反应仓(1)的仓壁(12)与所述反应腔室(11)连通设置有穿孔，所述反应腔室(11)内置反应物单质硅，所述反应仓(1)与所述中空连接管(2)的一侧导通连接，所述中空连接管(2)的另一侧与所述密封组件(3)连接；

所述温度监测装置(4)的温度监测端，依次穿过所述密封组件(3)和所述中空连接管(2)并插入至所述反应腔室(11)，用于监测反应时所述反应腔室(11)的内部温度。

2.根据权利要求1所述检测镁金属蒸发的装置，其特征在于，所述仓壁(12)包括外壁层和内壁层；所述外壁层包括外层孔板(121)和外层孔板底板(122)；所述内壁层包括内层网板(123)和内层网板底板(124)。

3.根据权利要求2所述检测镁金属蒸发的装置，其特征在于，所述内层网板(123)和内层网板底板(124)的网孔孔径为100～120目。

4.根据权利要求2所述检测镁金属蒸发的装置，其特征在于，所述仓壁(12)由金属钛制成。

5.根据权利要求1所述检测镁金属蒸发的装置，其特征在于，所述中空连接管(2)设置外限位环(21)；所述密封组件(3)包括外密封法兰(31)和外密封组件；所述外密封法兰(31)设置于所述中空连接管(2)的端部，所述外密封组件嵌合压紧设置于所述外限位环(21)和所述外密封法兰(31)之间。

6.根据权利要求5所述检测镁金属蒸发的装置，其特征在于，所述外密封组件包括外密封填料(32)和外压紧机构(33)，所述外压紧机构(33)贯穿连接于所述中空连接管(2)，并嵌合压紧设置于所述外密封填料(32)和所述外密封法兰(31)之间。

7.根据权利要求6所述检测镁金属蒸发的装置，其特征在于，所述外压紧机构(33)径向设置有开口槽，并可通过所述开口槽夹紧安装于所述中空连接管(2)。

8.根据权利要求6所述检测镁金属蒸发的装置，其特征在于，所述外密封填料(32)由石墨制成。

9.根据权利要求1所述检测镁金属蒸发的装置，其特征在于，所述温度监测装置(4)设置内限位环(41)；所述密封组件(3)还包括内密封法兰(34)和内密封组件；所述内密封组件嵌合压紧设置于所述内限位环(41)和所述内密封法兰(34)之间。

10.根据权利要求9所述检测镁金属蒸发的装置，其特征在于，所述内密封组件包括内密封填料(35)和内压紧机构(36)，所述内压紧机构(36)贯穿连接于所述温度监测装置(4)，并嵌合压紧设置于所述内密封填料(35)和所述内密封法兰(34)之间。