[实用新型]一种减压过渡腔结构有效
申请号: | 202021134084.5 | 申请日: | 2020-06-17 |
公开(公告)号: | CN212898163U | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 胡荣朝;曹超;许治伟 | 申请(专利权)人: | 上海润理真空技术有限公司 |
主分类号: | E06B3/66 | 分类号: | E06B3/66;E06B3/677;E06B3/58;E06B3/24;E06B7/22;G01L11/00 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 减压 过渡 结构 | ||
1.一种减压过渡腔结构,其特征在于:包括用于与两个气压腔室相连的主法兰盘(1),所述主法兰盘(1)的两端分别密封安装有第一石英玻璃(2)和第二石英玻璃(3),所述第一石英玻璃(2)和第二石英玻璃(3)之间形成过渡腔室(4),所述主法兰盘(1)的侧壁安装有用于向过渡腔室(4)注入气体的充气管(5),以及对过渡腔室(4)中的气压进行检测的检测表(19)。
2.根据权利要求1所述的一种减压过渡腔结构,其特征在于:所述主法兰盘(1)的两端分别开设有第一凹槽(6)和第二凹槽(7),所述第一凹槽(6)的槽底延伸开设有第一安装槽(8),所述第一石英玻璃(2)安装在第一安装槽(8)内,所述第一凹槽(6)的槽底可拆卸安装有用于对第一石英玻璃(2)进行固定的第一固定盘(9)。
3.根据权利要求2所述的一种减压过渡腔结构,其特征在于:所述第一固定盘(9)包括大环体(91)、小环体(92)和连接板(93),所述大环体(91)与小环体(92)之间通过连接板(93)相连接,所述大环体(91)通过螺栓安装在第一凹槽(6)的槽底,所述大环体(91)和小环体(92)的侧壁均与第一石英玻璃(2)相抵接。
4.根据权利要求3所述的一种减压过渡腔结构,其特征在于:所述第一凹槽(6)的槽底与大环体(91)相对应的位置处均开设有第一环槽(13),所述第一环槽(13)内安装有第一密封圈(14)。
5.根据权利要求3所述的一种减压过渡腔结构,其特征在于:所述小环体(92)靠近第一石英玻璃(2)的一端开设有第二环槽(15),所述第二环槽(15)内安装有第二密封圈(16)。
6.根据权利要求3所述的一种减压过渡腔结构,其特征在于:所述第二凹槽(7)的槽底安装有第二固定盘(10),所述第二固定盘(10)与第一固定盘(9)的结构相同,所述第二固定盘(10)远离第二凹槽(7)槽底的一端可拆卸安装有端盖(11),所述端盖(11)靠近第二固定盘(10)的一端开设有第二安装槽(12),所述第二石英玻璃(3)安装在第二安装槽(12)内。
7.根据权利要求6所述的一种减压过渡腔结构,其特征在于:所述端盖(11)靠近第二固定盘(10)的一端开设有第三环槽(17),所述第三环槽(17)内安装有第三密封圈(18)。
8.根据权利要求1所述的一种减压过渡腔结构,其特征在于:所述充气管(5)的端部连接有与第一凹槽(6)相连通的加压管(20),所述充气管(5)和加压管(20)之间连接有用于控制充气管(5)进气的控制阀(21),所述加压管(20)的侧壁连接有与气源相连的进气阀门(22)。
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