[实用新型]一种用于真空设备连接的连接件

权利要求书

1.一种用于真空设备连接的连接件，其特征在于：包括底座（1），所述底座（1）的一端安装有法兰盘（2），所述底座（1）远离法兰盘（2）的一端依次叠加安装有第一调整板（3）、第二调整板（4）、第三调整板（5）和法兰板（6），所述底座（1）的侧壁安装有用于调节第一调整板（3）在底座（1）上沿X轴方向移动的第一移动部（7），所述第一调整板（3）的侧壁安装有用于调节第二调整板（4）在第一调整板（3）上沿Y轴方向移动的第二移动部（8），所述第二调整板（4）相对的两侧转动安装有第一转轴（10），所述第三调整板（5）固定设置在第一转轴（10）上，所述第二调整板（4）的侧壁安装有控制第三调整板（5）转动的第一调整部（11），所述第三调整板（5）相对的两侧转动安装有第二转轴（13），所述法兰板（6）固定设置在第二转轴（13）上，所述第三调整板（5）的侧壁安装有控制法兰板（6）转动的第二调整部（14），所述第三调整板（5）转动方向与法兰板（6）的转动方向相互垂直，所述法兰板（6）与法兰盘（2）之间通过中间部件（15）柔性连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空设备连接的连接件，其特征在于：所述第一移动部（7）包括第一内螺纹套筒（71）、第一螺纹杆（72）和第一固定块（73），所述第一内螺纹套筒（71）固定安装在底座（1）的侧壁上，第一固定块（73）固定安装在第一调整板（3）的侧壁上，所述第一螺纹杆（72）螺纹连接在第一内螺纹套筒（71）内，所述第一螺纹杆（72）的端部转动安装在第一固定块（73）内。

3.根据权利要求2所述的一种用于真空设备连接的连接件，其特征在于：所述第二移动部（8）包括第二内螺纹套筒（81）、第二螺纹杆（82）和第二固定块（83），所述第二内螺纹套筒（81）固定安装在第一调整板（3）的侧壁上，第二固定块（83）固定安装在第二调整板（4）的侧壁上，所述第二螺纹杆（82）螺纹连接在第二内螺纹套筒（81）内，所述第二螺纹杆（82）的端部转动安装在第二固定块（83）内。

4.根据权利要求1所述的一种用于真空设备连接的连接件，其特征在于：所述第一调整部（11）包括第一限位块（111）、第一内螺纹块（112）和第三螺纹杆（113），所述第一限位块（111）固定安装在第二调整板（4）的侧壁上，所述第一内螺纹块（112）固定安装在第三调整板（5）的侧壁上，所述第三螺纹杆（113）的端部穿过第一内螺纹块（112）且转动安装在第一限位块（111）内，所述第三螺纹杆（113）与第一内螺纹块（112）通过螺纹配合。

5.根据权利要求4所述的一种用于真空设备连接的连接件，其特征在于：所述第二调整部（14）包括第二限位块（141）、第二内螺纹块（142）和第四螺纹杆（143），所述第二限位块（141）固定安装在第三调整板（5）的侧壁上，所述第二内螺纹块（142）固定安装在法兰板（6）的侧壁上，所述第四螺纹杆（143）的端部穿过第二内螺纹块（142）且转动安装在第二限位块（141）内，所述第四螺纹杆（143）与第二内螺纹块（142）通过螺纹配合。

6.根据权利要求5所述的一种用于真空设备连接的连接件，其特征在于：所述第三调整板（5）远离第一调整部（11）的一侧以及法兰板（6）远离第二调整部（14）的一侧均安装有用于配合转动的调整螺栓（16）。

7.根据权利要求6所述的一种用于真空设备连接的连接件，其特征在于：所述第二调整板（4）与第三调整板（5）之间安装有第一调整弹簧（19），所述第一调整弹簧（19）位于第三调整板（5）靠近第一调整部（11）的一侧。

8.根据权利要求7所述的一种用于真空设备连接的连接件，其特征在于：所述第三调整板（5）与法兰板（6）之间安装有第二调整弹簧（22），所述第二调整弹簧（22）位于第三调整板（5）靠近第一调整部（11）的一侧。