[实用新型]基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计

权利要求书

1.基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计，其特征在于，包括：支撑框架(1)，键合基板(27)，扭转支撑梁(2)，扭转质量块(3)，谐振质量块(4、5)，磁阻元件(10、13)，固定刚度调节电极(6、8、9)，可动刚度调节电极(7a、7b、7c、7d)，检测磁体(28、29)和驱动磁体(30、31、32、33)；

所述支撑框架(1)设置在所述键合基板(27)上，所述支撑框架(1)上开设有以支撑框架(1)的Y轴中心线为中心轴非对称设置的第一质量块安装槽，所述扭转质量块(3)适配所述第一质量块安装槽的形状设置在所述第一质量块安装槽内，所述扭转质量块(3)通过扭转支撑梁(2)与所述支撑框架(1)连接；

所述扭转质量块(3)上沿支撑框架(1)的Y轴中心线为中心轴对称设置有两个第二质量块安装槽，两个所述第二质量块安装槽之间以及两侧分别开设有调节电极露出孔；所述谐振质量块(4、5)设置在所述第二质量块安装槽内，所述谐振质量块(4、5)的四个边角通过驱动组合梁与扭转质量块(3)连接，所述磁阻元件(10、13)设置在所述谐振质量块(4、5)上，所述谐振质量块(4、5)的X轴两端设置所述可动刚度调节电极(7a、7b、7c、7d)；

所述键合基板(27)上表面设置有一个方形的凹槽，所述凹槽内设置有所述固定刚度调节电极(6、8、9)，检测磁体(28、29)和驱动磁体(30、31、32、33)，所述固定刚度调节电极(6、8、9)对应所述调节电极露出孔的位置设置并与所述可动刚度调节电极(7a、7b、7c、7d)交叉配合，所述检测磁体(28、29)对应磁阻元件(10、13)的位置设置，所述驱动磁体(30、31、32、33)对应所述驱动组合梁的位置设置。

2.根据权利要求1所述的基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计，其特征在于，所述扭转支撑梁(2)位于所述支撑框架(1)的Y轴中心线上。

3.根据权利要求1所述的基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计，其特征在于，所述检测磁体(28、29)上方沉积有聚磁单元，所述聚磁单元形状包括三角形或正方形。

4.根据权利要求1所述的基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计，其特征在于，所述固定刚度调节电极(6、8、9)和可动刚度调节电极(7a、7b、7c、7d)均为梳齿电极，所述固定刚度调节电极(6、8、9)和可动刚度调节电极(7a、7b、7c、7d)的梳齿部交叉配合。

5.根据权利要求1所述的基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计，其特征在于，所述驱动组合梁包括：第一驱动梁(24a、24b、24c、24d)、第二驱动梁(26a、26b、26c、26d)和驱动梁连接块(25a、25b、25c、25d),所述第一驱动梁(24a、24b、24c、24d)、第二驱动梁(26a、26b、26c、26d)分别平行设置在所述驱动梁连接块(25a、25b、25c、25d)两侧并且一端分别与所述驱动梁连接块(25a、25b、25c、25d)连接，所述第一驱动梁(24a、24b、24c、24d)、第二驱动梁(26a、26b、26c、26d)另一端分别与所述谐振质量块(4、5)连接，所述驱动梁连接块(25a、25b、25c、25d)另一端与所述扭转质量块(3)连接。

6.根据权利要求1所述的基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计，其特征在于，所述基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计还包括：驱动电极(16、18、20、22),驱动导线(17、19、21、23),检测电极(12、15)和检测导线(11、14)；

所述驱动电极(16、18、20、22)和检测电极(12、15)设置在扭转质量块(3)上表面靠近扭转支撑梁(2)边缘位置；

所述驱动导线(17、19、21、23)两端分别与所述驱动电极(16、18、20、22)正负极连接，所述驱动导线(17、19、21、23)中部设置在所述驱动组合梁上，所述检测导线(11、14)一端与所述检测电极(12、15)连接，所述检测导线(11、14)另一端与所述隧道磁阻元件(10、13)连接。