[实用新型]一种能够进行系统自检的吹扫及检测系统有效
申请号: | 202021135289.5 | 申请日: | 2020-06-18 |
公开(公告)号: | CN212617641U | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 柳光植;沈琦 | 申请(专利权)人: | 江苏先科半导体新材料有限公司 |
主分类号: | F17D1/04 | 分类号: | F17D1/04;F17D3/01;F17D3/14;B08B9/093;G01N15/06;G01N33/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 张超 |
地址: | 214203 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 能够 进行 系统 自检 检测 | ||
1.一种能够进行系统自检的吹扫及检测系统,其特征在于:包括气体输送主干路,气体输送主干路上有过滤系统,沿气体输送方向的过滤系统的后方设有单向阀,单向阀的后方设有多个与气体输送主干路连接的吹扫及检测系统,每两套吹扫及检测系统共用同一套颗粒计数器及水分仪,每套吹扫及检测系统包括自气体输送主干路延伸出的第一支路,第一支路上沿气体的输送方向依次设置用于调压的压力调控阀、流量计、第二截止阀、第三截止阀、颗粒过滤器和电磁阀,在第三截止阀处直接引出第五支路及第五支路上的第五截止阀连接到罐体出口所连接的管路上,且第五支路和罐体出口所连接的管路交汇处和罐体出口之间设有第四截止阀,第一支路末端和罐体的进口连接,罐体的出口连接颗粒计数器及水分仪。
2.根据权利要求1所述的能够进行系统自检的吹扫及检测系统,其特征在于:所述过滤系统包括沿气体输送方向依次设置的用于调压的压力调控阀、用于去除气体微尘的颗粒过滤器以及用于去除气体中水分的纯化器。
3.根据权利要求1所述的能够进行系统自检的吹扫及检测系统,其特征在于:罐体出口所连接的管路不仅连接颗粒计数器及水分仪,同时分出两条支路,其中一条连接到了真空泵,另一条通过第六截止阀和单向阀连接外部空气。
4.根据权利要求1所述的能够进行系统自检的吹扫及检测系统,其特征在于:所述电磁阀和PLC控制器连接,所述PLC控制器的型号为DVP60ES2。
5.根据权利要求1所述的能够进行系统自检的吹扫及检测系统,其特征在于:在第三截止阀的进口处直接引出第五支路及第五支路上的第五截止阀连接到罐体出口所连接的管路上,且第五支路和罐体出口所连接的管路为位于罐体出口的第四截止阀的出口后方。
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