[实用新型]一种新型多功能柔性触觉传感器有效

专利信息
申请号: 202021139627.2 申请日: 2020-06-18
公开(公告)号: CN214407559U 公开(公告)日: 2021-10-15
发明(设计)人: 苏越;张旭;刘健朝;李彩丽 申请(专利权)人: 海宁先进半导体与智能技术研究院
主分类号: G01D21/02 分类号: G01D21/02;G01L1/14;G01K7/16;G01R27/02;B82Y15/00;B82Y40/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 314400 浙江省嘉兴市海宁市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 多功能 柔性 触觉 传感器
【权利要求书】:

1.一种新型多功能柔性触觉传感器,其特征在于,器件整体采用层压式的结构分布,触觉传感器自上而下分别为:上极板电极A(1)、上极板电极B(2)、上极板(3)、介电层(4)、下极板电极(5)、下极板(6)、衬底(7)、薄膜电极(8);高密度柔性触觉传感器由16个感知点组成,呈4×4阵列排布,每一感知点由两个压力传感器及一个温度传感器构成;柔性触觉传感器通过在上极板A和上极板B电极两端施加0.1-100 kHz,10 mV的正弦交流电压来获取组织的接触阻抗信息。

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