[实用新型]一种高功率半导体激光器波长锁定装置

权利要求书

1.一种高功率半导体激光器波长锁定装置，其特征在于，包括：

多个单管半导体激光器，用于产生预设波长的激光；

光束整形模块，用于将多个单管半导体激光器输出的激光进行整形；

耦合模块，用于将整形后的光束耦合进光纤；

光纤光栅，用于接收耦合的光束，对多个单管半导体激光器进行波长锁定，实现多个单管半导体激光器窄波长输出。

2.根据权利要求1所述的高功率半导体激光器波长锁定装置，其特征在于，所述光束整形模块包括：

准直镜，用于将多个单管半导体激光器输出的激光分别进行准直，得到多个准直光束。

3.根据权利要求2所述的高功率半导体激光器波长锁定装置，其特征在于，所述光束整形模块还包括：

阶梯反射镜，用于将准直后的光束进行反射得到多个按照预设规律排列的激光光束。

4.根据权利要求1所述的高功率半导体激光器波长锁定装置，其特征在于，所述耦合模块包括：球面镜、非球面镜、双胶合透镜、正交柱面镜对中的任意一种。

5.根据权利要求2所述的高功率半导体激光器波长锁定装置，其特征在于，所述准直镜包括：快轴准直镜和慢轴准直镜，所述快轴准直镜用于调整多个单管半导体激光器输出的激光在快轴方向的发散角，输出调整光束；所述慢轴准直镜用于调整所述调整光束在慢轴方向的发散角，得到多个准直光束。

6.根据权利要求1所述的高功率半导体激光器波长锁定装置，其特征在于，所述光纤光栅包括：由内到外依次设置的外包层、内包层以及纤芯，所述纤芯中刻蚀有周期排布的光栅，用于对多个单管半导体激光器进行波长锁定。

7.根据权利要求1所述的高功率半导体激光器波长锁定装置，其特征在于，至少一个单管半导体激光器的前腔面设置增透膜。

8.根据权利要求7所述的高功率半导体激光器波长锁定装置，其特征在于，所述增透膜的反射率大于0小于0.1％。

9.根据权利要求6所述的高功率半导体激光器波长锁定装置，其特征在于，所述纤芯的直径大于40μm。

10.根据权利要求1所述的高功率半导体激光器波长锁定装置，其特征在于，所述光纤光栅的衍射效率大于80％。