[实用新型]用于固定陶瓷的阴极丝固定绝缘加紧装置

说明书

本申请提出了一种用于固定陶瓷的阴极丝固定绝缘加紧装置，用于对真空管进行狭缝镀膜，其中，装置包括：陶瓷组件、弹簧、金属固定件，陶瓷组件用于支撑阴极丝，弹簧固定在陶瓷组件底部，金属固定件设置在弹簧上方，用于固定阴极丝。由此，通过陶瓷组件支撑阴极丝，使得阴极丝保持在真空管上下管壁的中心位置，并且金属固定件在弹簧的弹力作用下与阴极丝有较大的摩擦力，保证阴极丝在垂直状态时，陶瓷组件不至于滑落导致阴极丝偏离中心位置而引起短路，避免了真空管在安装中容易出现弯曲等现象，陶瓷组件滑落或错位以引起阴极丝短路，还避免了对于6mm以下尺寸的狭缝真空管镀膜时，出现阴极丝与真空管之间短路，影响对真空管镀膜的技术问题。

技术领域

本申请涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种用于固定陶瓷的阴极丝固定绝缘加紧装置。

背景技术

同步辐射光源逐渐向高亮度，低发射度发展，从而要求磁铁孔径尽可能小，这样导致真空管尺寸非常小。此外，为了避免束流引起的同步辐射光直接照射在真空管的管壁，一般在真空管侧面附加有光子通道。然而受到磁铁空间限制，光子通道一般为高度较小的扁平状矩形结构。例如，第四代同步辐射光源的光子通道的高度只有6mm，另外，受到磁铁体积的限制，单根真空管长度一般需要大于1米，这导致真空流导较小。传统上采用离散式真空泵的方式无法获得束流所需真空度，必须在真空管内壁镀一层0.5～2um的吸气剂薄膜提供分布式抽气的能力，以获得更高的真空度。同时，相对于传统不锈钢、无氧铜、铝材等材料，吸气剂薄膜具有较低的光子解析系数，较低的电子解析系数，较低的二次电子发射系数，这些优点使得束流引起的动态气载相对较低，对于正电荷粒子加速器还可以有效抑制电子云效应。

对于尺寸较大的管道内壁镀膜，如大于10mm，一般通过一定方式将阴极丝固定在真空管的中心位置，采用直流磁控溅射方法在真空管内壁镀吸气剂薄膜。但是，采用传统阴极丝固定方式对6mm以下尺寸的狭缝真空管内壁进行镀膜时，会出现阴极丝与真空管之间短路、阴极丝断裂等影响继续镀膜的现象。另外，阴极丝直径一般为1～2mm，真空管变形等，可能导致阴极丝与真空管的管壁之间的距离小于2.5mm，使得等离子体很难起辉放电或者均匀分布于真空盒内部，从而最终导致无法成膜的技术问题。

实用新型内容

本申请旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，本申请提出一种用于固定陶瓷的阴极丝固定绝缘加紧装置，以解决现有技术中对于6mm以下尺寸的狭缝真空管进行镀膜时，出现阴极丝与真空管之间短路现象，从而影响对真空管进行镀膜的技术问题。

本申请提出了一种用于固定陶瓷的阴极丝固定绝缘加紧装置，用于对真空管进行狭缝镀膜，包括：

陶瓷组件，所述陶瓷组件用于支撑阴极丝；

弹簧，所述弹簧固定在陶瓷组件底部；

金属固定件，所述金属固定件设置在所述弹簧上方，用于在所述弹簧的弹力作用下固定所述阴极丝。

可选地，所述金属固定件为内部中空的圆柱体。

可选地，所述金属固定件的外径为2mm。

可选地，所述弹簧的弹力为0.4至0.5N。

可选地，所述弹簧和所述金属固定件均位于所述陶瓷组件内部。