[实用新型]一种栅极金属结构及其III族氮化物器件有效
| 申请号： | 202021141002.X | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN212230435U | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 孙希国;蔡文必;刘胜厚 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/47;H01L29/49;H01L29/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361100 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 栅极 金属结构 及其 iii 氮化物 器件 | ||
1.一种栅极金属结构，应用于III族氮化物器件，其特征在于，
所述栅极金属结构设置于III族氮化物器件的III族氮化物层上，所述栅极金属结构包含第一金属层；
所述栅极金属结构还包含第二金属层，
所述第二金属层设置于III族氮化物层与所述第一金属层之间；
所述第二金属层为钛金属层，所述钛金属层的厚度范围为
所述第一金属层由镍、铂、金、钯、铝中任意一种或多种金属材料构成。
2.根据权利要求1所述栅极金属结构，其特征在于，
所述第一金属层由镍、铂、金、钯、铝中任意两种或者两种以上叠层构成。
3.根据权利要求1所述栅极金属结构，其特征在于，
所述III族氮化物层为氮化镓或铝镓氮化物。
4.根据权利要求2所述栅极金属结构，其特征在于，
所述第一金属层为镍/铂/金叠层、镍/金叠层、镍/钯/金叠层或镍/铂/镍/金叠层。
5.根据权利要求1所述栅极金属结构，其特征在于，
所述第一金属层的厚度范围为
6.一种III族氮化物器件，其特征在于，
包含依次设置的衬底、沟道层、势垒层、栅极，位于栅极两侧的源极和漏极；
所述栅极包含栅极金属结构，所述栅极金属结构包含设置在势垒层上的第二金属层和设置在第二金属层上的第一金属层；
所述第二金属层为钛金属层，所述钛金属层的厚度为
所述沟道层为氮化镓；
所述势垒层为氮化铝、铝铟氮化物、铝镓氮化物、铟镓氮化物或铝铟镓氮化物。
7.根据权利要求6所述的III族氮化物器件，其特征在于，
所述势垒层与第二金属层之间还设置有氮化镓帽层。
8.根据权利要求6所述的III族氮化物器件，其特征在于，
所述第一金属层由镍、铂、金、钯、铝中任意两种或者两种以上叠层构成。
9.根据权利要求6所述的III族氮化物器件，其特征在于，
所述III族氮化物器件为氮化镓HEMT器件。
10.根据权利要求6所述的III族氮化物器件，其特征在于，
所述衬底为硅、蓝宝石、碳化硅。
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