[实用新型]监控装置以及用于制造部件承载件的设备

权利要求书

1.一种监控装置(100)，所述监控装置(100)用于监控由过程控制器(102)对制造部件承载件的过程进行的控制，所述监控装置(100)的特征在于，所述监控装置(100)包括：

输入单元(116)，所述输入单元(116)用于从所述过程控制器(102)接收指示所述过程控制器(102)的状态的状态输入(106)；以及

输出单元(130)，所述输出单元(130)被配置为：

当接收到的所述状态输入(106)指示所述过程控制器(102)处于故障状态时触发事件，以及

当接收到的所述状态输入(106)指示所述过程控制器(102)处于运行状态时，使所述过程控制器(102)能够实施或继续进行过程的控制。

2.根据权利要求1所述的监控装置(100)，其特征在于，所述监控装置(100)被配置为：当被发送的所述状态输入(106)的至少一个属性偏离预定属性超出预定阈值时，检测所述过程控制器(102)的所述故障状态。

3.根据权利要求1所述的监控装置(100)，其特征在于，所述监控装置(100)被配置为：当被发送的所述状态输入(106)的重复频率偏离预定的连续重复的方波信号的预定重复频率超出预定阈值时，检测所述过程控制器(102)的所述故障状态。

4.根据权利要求1所述的监控装置(100)，其特征在于，被触发的所述事件包括警报单元(110)输出警报信号。

5.根据权利要求1所述的监控装置(100)，其特征在于，被触发的所述事件包括关闭受控制的所述过程。

6.根据权利要求1所述的监控装置(100)，其特征在于，所述监控装置(100)被配置为：当接收到的所述状态输入(106)指示所述运行状态时，将在控制输入(104)处接收到的控制信号从所述过程控制器(102)转发到制造单元(114)。

7.根据权利要求1所述的监控装置(100)，其特征在于，所述监控装置(100)被配置为：当接收到的所述状态输入(106)指示所述故障状态时，禁止将在控制输入(104)处接收到的控制信号从所述过程控制器(102)发送到制造单元(114)。

8.一种用于制造部件承载件的设备(112)，其特征在于，所述设备(112)包括：

过程控制器(102)，所述过程控制器(102)被配置为对制造部件承载件的过程进行控制；以及

根据权利要求1所述的监控装置(100)，所述监控装置(100)用于监控由所述过程控制器(102)对制造部件承载件的过程进行的过程控制。

9.根据权利要求8所述的设备(112)，其特征在于，所述设备(112)包括制造单元(114)，所述制造单元(114)用于执行由所述过程控制器(102)控制的制造部件承载件的过程。

10.根据权利要求9所述的设备(112)，其特征在于，所述过程控制器(102)仅经由所述监控装置(100)来与所述制造单元(114)通信地耦接。

11.根据权利要求8所述的设备(112)，其特征在于，所述过程控制器(102)被配置成用于在制造部件承载件期间实施对等离子体过程的过程控制。

12.根据权利要求8所述的设备(112)，其特征在于，所述过程控制器(102)被配置成用于在制造部件承载件期间实施对镀覆过程的过程控制。

13.根据权利要求8所述的设备(112)，其特征在于，所述过程控制器(102)被配置成用于实施对电源的过程控制。

14.根据权利要求8所述的设备(112)，其特征在于，所述过程控制器(102)被配置成用于实施对加热过程的过程控制。