[实用新型]一种晶圆传递装置及具有其的光阻涂布显影设备

权利要求书

1.一种晶圆传递装置，包括用于传递晶圆的传递台本体，其特征在于：所述传递台本体上设有第一机械臂和第二机械臂，所述第一机械臂用于传递处于冷却状态的晶圆，所述第二机械臂用于传递处于高温状态的晶圆。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆传递装置，其特征在于：所述传递台本体上还设有第三机械臂，所述第一机械臂、第二机械臂及第三机械臂沿竖直方向依次布设，所述第三机械臂用于传递处于高温状态的晶圆。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆传递装置，其特征在于：所述传递台本体设有分别与所述第一机械臂、第二机械臂和第三机械臂滑动连接的第一滑槽、第二滑槽及第三滑槽，以使所述第一机械臂、第二机械臂和第三机械臂可沿水平方向移动。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆传递装置，其特征在于：所述第一机械臂和第二机械臂之间还夹设有散热组件。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆传递装置，其特征在于：所述散热组件包括第一散热板和第二散热板及连接架，所述第一散热板、连接架和第二散热板由上至下依次叠装连接，所述连接架中空，以使所述第一散热板和第二散热板之间形成空腔。

6.一种光阻涂布显影设备，包括冷却盘单元和热盘单元，其特征在于：还包含权利要求1-5任一项所述的晶圆传递装置。

7.根据权利要求6所述的一种光阻涂布显影设备，其特征在于：还包括若干机架，所述机架包含分隔设置的若干冷却层和若干加热层，所述冷却层设有所述冷却盘单元，所述加热层设有所述热盘单元。

8.根据权利要求7所述的一种光阻涂布显影设备，其特征在于：所述机架沿竖直方向依次设有冷却盘单元、第一热盘单元及第二热盘单元。

9.根据权利要求7所述的一种光阻涂布显影设备，其特征在于：所述机架的数量为两个，其对称设置在所述晶圆传递装置的两侧。

10.根据权利要求6所述的一种光阻涂布显影设备，其特征在于：还包含升降旋转装置，所述升降旋转装置位于晶圆传递装置的底部，可以对晶圆传递装置进行升降和旋转操作。