[实用新型]一种扩散炉炉门防护装置

说明书

本实用新型公开了一种扩散炉炉门防护装置，包括扩散炉，所述扩散炉右侧的底部连通有炉门本体，所述炉门本体的内腔滑动连接有密封板，所述密封板的右侧固定连接有推动杆。本实用新型通过电机的驱动，在固定管和翻转机构的配合使用下，使得转动板带动推动杆运动，最终通过推动杆带动密封板脱离炉门本体的内腔，即可达到自动开合炉门和防泄漏的目的，该扩散炉炉门防护装置，解决了扩散炉的使用的过程中，扩散炉炉内处于高温，在对炉门开启的过程中，炉内的高温会自炉门冒出，对使用者的安全造成威胁，且在扩散炉使用的过程中，炉门位置的密封性存在较高的要求，若炉门处密封性不强，也会对使用者安全造成威胁的问题。

技术领域

本实用新型涉及扩散炉使用技术领域，具体为一种扩散炉炉门防护装置。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

扩散炉的使用的过程中，扩散炉炉内处于高温，在对炉门开启的过程中，炉内的高温会自炉门冒出，对使用者的安全造成威胁，且在扩散炉使用的过程中，炉门位置的密封性存在较高的要求，若炉门处密封性不强，也会对使用者的安全造成威胁，基于此，本实用新型提供了一种扩散炉炉门防护装置，用以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种扩散炉炉门防护装置，具备自动开合炉门和防泄漏的优点，解决了扩散炉的使用的过程中，扩散炉炉内处于高温，在对炉门开启的过程中，炉内的高温会自炉门冒出，对使用者的安全造成威胁，且在扩散炉使用的过程中，炉门位置的密封性存在较高的要求，若炉门处密封性不强，也会对使用者安全造成威胁的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种扩散炉炉门防护装置，包括扩散炉，所述扩散炉右侧的底部连通有炉门本体，所述炉门本体的内腔滑动连接有密封板，所述密封板的右侧固定连接有推动杆，所述推动杆的表面套设有转动板，所述炉门本体的顶部固定连接有箱体，所述箱体的右侧固定连接有固定管，所述固定管的右端贯穿转动板顶部的内腔并延伸至右侧，所述扩散炉右侧的顶部固定连接有电机，所述固定管的内腔设置有翻转机构，所述翻转机构包括螺纹杆，所述螺纹杆的右端通过轴承与固定管的内壁转动连接，所述螺纹杆的左端贯穿至箱体的内腔并通过轴承与箱体的内壁转动连接，所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套件，所述螺纹套件的顶部贯穿至固定管的顶部并与转动板顶部内腔的内壁固定连接，所述固定管的顶部开设有与螺纹套件相适配的横向滑槽和竖向滑槽，所述螺纹杆表面的左侧固定连接有锥齿轮一，所述电机的输出端贯穿至箱体的内腔并固定连接有锥齿轮二，所述锥齿轮一和锥齿轮二相啮合。

优选的，所述推动杆的表面套设有弹簧，所述弹簧的两端分别与密封板和转动板相焊接，所述推动杆表面的右侧螺纹连接有螺帽。

优选的，所述推动杆表面的顶部固定连接有限位条，所述转动板底部内腔的顶部开设有与限位条相适配的限位滑槽。

优选的，所述密封板的左侧固定连接有密封垫。

优选的，所述炉门本体顶部和底部的右侧均连通有两个透气管。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过电机的驱动，在固定管和翻转机构的配合使用下，使得转动板带动推动杆运动，最终通过推动杆带动密封板脱离炉门本体的内腔，即可达到自动开合炉门和防泄漏的目的，该扩散炉炉门防护装置，解决了扩散炉的使用的过程中，扩散炉炉内处于高温，在对炉门开启的过程中，炉内的高温会自炉门冒出，对使用者的安全造成威胁，且在扩散炉使用的过程中，炉门位置的密封性存在较高的要求，若炉门处密封性不强，也会对使用者安全造成威胁的问题。