[实用新型]一种半导体测试用探针座有效
申请号: | 202021149918.X | 申请日: | 2020-06-19 |
公开(公告)号: | CN212904999U | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 李越 | 申请(专利权)人: | 西安和光明宸科技有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R1/067;G01R31/26 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 宁文涛 |
地址: | 710077 陕西省西安市高新区丈八*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 测试 探针 | ||
1.一种半导体测试用探针座,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)通过卡接机构连接有探针座本体(3),所述探针座本体(3)顶部固定连接有针杆(4),所述针杆(4)顶部连接有针头(5),所述底座(1)上设有降温机构。
2.根据权利要求1所述的一种半导体测试用探针座,其特征在于,所述针头(5)表面的底部固定连接有螺纹块,所述针杆(4)顶端的表面开设有螺纹槽,所述螺纹槽内侧壁与螺纹块外侧壁螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体测试用探针座,其特征在于,所述卡接机构包括两个对称的连接板(2),所述探针座本体(3)两侧分别与连接板(2)相对一侧固定连接,两个所述连接板(2)均开设有限位槽(7),所述底座(1)上开设有与限位槽(7)相适配的连接槽(6),所述连接槽(6)与限位槽(7)通过连接机构连接。
4.根据权利要求3所述的一种半导体测试用探针座,其特征在于,所述连接机构包括活动块(8),所述活动块(8)上开设有收纳槽(9),所述收纳槽(9)内底部固定连接有伸缩杆(10),所述伸缩杆(10)远离收纳槽(9)的一端与连接槽(6)内底部固定连接,所述伸缩杆(10)外侧壁套设有复位弹簧(11),所述复位弹簧(11)两端分别与连接槽(6)内底部以及活动块(8)外侧壁固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种半导体测试用探针座,其特征在于,所述底座(1)顶部设有加热板(12),所述加热板(12)位于探针座本体(3)底部与底座(1)顶部之间。
6.根据权利要求5所述的一种半导体测试用探针座,其特征在于,所述降温机构包括开设在底座(1)上的安装槽(13),所述安装槽(13)内底部固定连接有驱动电机(14),所述驱动电机(14)输出端固定连接有输出轴,所述输出轴外侧壁固定连接有多个吹风扇叶(15),所述探针座本体(3)底部开设有连通腔(17),所述加热板(12)上开设有与连通腔(17)相连通的连通口(16),所述探针座本体(3)上开设有多个与连通腔(17)相连通的通风腔(18)。
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