[实用新型]一种液位检测装置

说明书

本申请公开了一种液位检测装置，所述液位检测装置包括用于随液位的变化上下浮动的浮体；用于指示液位的配重体；以及用于连接所述浮体和配重体的牵引绳，其中，所述浮体的运动方向与所述配重体的运动方向相同。本申请的液位检测装置的浮体运动方向与配重体的运动方向相同，使得本申请的液位检测装置能够更加直观、方便地反映液位变化趋势，具有结构简单、操作方便、准确性高、无漏液风险的优势；并且由于浮体的下边缘所在的水平面与配重体的上边缘所在的水平面处于同一平面，配重块上边缘所在的位置即为液面位置，使得液位的检测更加便捷。

技术领域

本申请一般涉及液位检测技术领域，具体涉及一种液位检测装置。

背景技术

在半导体湿制程工艺中，需要对储液装置例如药液槽内药液的液位进行实时检测。目前常用的液位检测方式包括采用液位计、液位传感器及等液位装置等进行测量，其中，液位计和液位传感器的测量探头容易受药液的腐蚀或堵塞而造成实际测量困难或测量结果不准确，现有的等液位装置需要在药液槽底部开孔以连接等液位管，药液槽底部开孔容易在等液位管与药液槽的接口处出现渗液现象，导致发生药液外漏事故，造成药液的浪费及环境污染。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本申请期望提供一种液位检测装置，以期实现简单、方便、高安全性、高准确性地检测液体的液位。

作为本申请的第一方面，本申请提供一种液位检测装置。

作为优选，所述液位检测装置，包括：

用于随液位的变化上下浮动的浮体；

用于指示液位的配重体；以及

用于连接所述浮体和配重体的牵引绳，其中，所述浮体的运动方向与所述配重体的运动方向相同。

作为优选，所述液位检测装置还包括导向轮组，所述牵引绳绕经所述导向轮组连接所述浮体和配重体，使所述配重体与所述浮体同向运动。

作为优选，所述导向轮组至少包括第一导向轮和第二导向轮，所述牵引绳的第一端连接于所述浮体，所述牵引绳的第二端依次绕经所述第一导向轮向上换向和所述第二导向轮向下换向后与所述配重体相连接，其中，所述第一导向轮位于所述浮体的下方，所述第二导向轮位于所述配重体的上方。

作为优选，所述液位检测装置还包括用于对所述浮体进行限位的固定架，所述固定架是由若干支柱组成的框架结构，所述浮体活动设置于所述框架结构内，能够在所述若干支柱的引导下沿所述框架结构的长度方向上下浮动；其中，所述若干支柱中的至少一个支柱中空，所述牵引绳的至少部分穿设于该中空的支柱内。

作为优选，所述液位检测装置还包括用于容置所述配重体的中空透明管，所述配重体活动设置于所述中空透明管内且能够沿所述中空透明管的长度方向上下滑动。

作为优选，所述固定架与所述中空透明管纵向平行设置。

作为优选，所述液位检测装置还包括至少一个感应器，所述感应器被配置为用于感应所述配重体的位置并输出液位信号，其中，所述至少一个感应器设置于所述中空透明管的外壁。

作为优选，所述配重体为金属导块或表面包裹有金属的导块，所述感应器为电容式传感器。

作为优选，所述浮体为浮球，所述浮球在球形对称的两端设有凸起，组成所述固定架的若干支柱低接于所述凸起的外表面，用于将所述浮体限位于所述固定架中。

作为优选，所述浮体的下边缘所在的水平面与所述配重体的上边缘所在的水平面处于同一平面。

本申请的有益效果：