[实用新型]薄膜生长样品托

权利要求书

1.薄膜生长样品托，其特征在于，包括：

托盘；

压片，安装于所述托盘上，所述压片上开设有第一通孔；

载物圆片，设于所述第一通孔中，用于承托薄膜的生长；

其中，所述第一通孔远离所述托盘一端的直径小于2.8mm，所述第一通孔靠近所述托盘一端的直径大于或者等于3.2mm，所述载物圆片的直径范围为2.8mm-3.2mm。

2.如权利要求1所述的薄膜生长样品托，其特征在于：所述第一通孔的直径由所述压片朝所述托盘的方向逐渐增大。

3.如权利要求1所述的薄膜生长样品托，其特征在于：所述第一通孔的内周面为第一斜面，所述载物圆片的外周面为与所述第一斜面配合的第二斜面。

4.如权利要求1所述的薄膜生长样品托，其特征在于：所述第一通孔包括第一过孔和与所述第一过孔同轴设置的第二过孔，所述第一过孔与所述第二过孔连通，所述第一过孔的直径大于所述第二过孔的直径，所述第一过孔与所述第二过孔之间形成支撑所述载物圆片的第一台阶面。

5.如权利要求1所述的薄膜生长样品托，其特征在于：所述托盘上开设有第二通孔，所述压片上对应开设有第三通孔，所述第三通孔与所述第一通孔间隔设置。

6.如权利要求5所述的薄膜生长样品托，其特征在于：所述第二通孔包括第三过孔和与所述第三过孔同轴设置的第四过孔，所述第三过孔与所述第四过孔连通，所述第三过孔的直径大于所述第四过孔的直径，所述第三过孔与所述第四过孔之间形成第二台阶面。

7.如权利要求5所述的薄膜生长样品托，其特征在于：所述第二通孔的截面积大于所述第三通孔的截面积。

8.如权利要求5所述的薄膜生长样品托，其特征在于：所述托盘上开设有多个第一安装孔，所述压片上对应于各所述第一安装孔的位置开设有第二安装孔；所述第二通孔与各所述第一安装孔间隔设置，所述第一通孔与各所述第二安装孔间隔设置，所述第三通孔与各所述第二安装孔间隔设置。

9.如权利要求1-8任一项所述的薄膜生长样品托，其特征在于：所述载物圆片的直径为3mm。

10.如权利要求1-8任一项所述的薄膜生长样品托，其特征在于：所述托盘的截面积大于所述压片的截面积。