[实用新型]一种红外宽带增透膜加工装置

权利要求书

1.一种红外宽带增透膜加工装置，其特征在于：包括底座（1）、设置在底座（1）上用于调整基片位置的修正结构（2）、以及设置在底座（1）上并靠近修正结构（2）的用于蒸发耗材的阻蒸镀膜结构（3）；其中，所述阻蒸镀膜结构（3）还与互感器（4）、调节器（5）、以及增大变压装置（6）依次电性连接。

2.根据权利要求1所述的红外宽带增透膜加工装置，其特征在于：所述阻蒸镀膜结构（3）包括设置在底座上的竖向支撑杆（31）、与竖向支撑杆（31）连接的横向支撑杆（32）、以及设置在横向支撑杆（32）端部的钨舟蒸发结构（33），所述钨舟蒸发结构（33）与互感器（4）、调节器（5）、以及增大变压装置（6）依次电性连接。

3.根据权利要求2所述的红外宽带增透膜加工装置，其特征在于：所述钨舟蒸发结构（33）包括舟槽（331）、以及设置在舟槽（331）顶部可挡柱舟槽（331）开口的盖板（332）。

4.根据权利要求3所述的红外宽带增透膜加工装置，其特征在于：所述红外宽带增透膜加工装置还包括控制器（8），所述盖板（332）与舟槽（331）通过转动结构（7）连接，所述转动结构（7）与控制器（8）电性连接。

5.根据权利要求4所述的红外宽带增透膜加工装置，其特征在于：所述转动结构（7）包括设置在盖板（332）上的转动件（71）、以及设置在舟槽（331）上的轴承件（72），所述转动件（71）与控制器（8）电性连接。

6.根据权利要求2～5任一项所述的红外宽带增透膜加工装置，其特征在于：所述钨舟蒸发结构（33）至少为两个且分布在修正结构的异侧。

7.根据权利要求1所述的红外宽带增透膜加工装置，其特征在于：所述修正结构（2）包括支撑架（21）、以及与支撑架（21）转动连接的修正活动杆（22）、以及与修正活动杆（22）可拆卸连接的修正板（23），修正板（23）用于承载基片并调节基片的高度以适合阻蒸镀膜结构的耗材蒸发镀膜。

8.根据权利要求7所述的红外宽带增透膜加工装置，其特征在于：所述底座（1）的底部设有用于驱动修正活动杆（22）仰俯运动的驱动装置（9）。

9.根据权利要求8所述的红外宽带增透膜加工装置，其特征在于：所述驱动装置（9）为磁性电机。

10.根据权利要求1所述的红外宽带增透膜加工装置，其特征在于：所述修正结构（2）与阻蒸镀膜结构（3）之间设有护盖结构（101），以实现在预蒸发过程中避免还未稳定的耗材蒸汽镀到基片上。