[实用新型]一种硅棒布置结构有效
申请号: | 202021172447.4 | 申请日: | 2020-06-22 |
公开(公告)号: | CN213037419U | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 余涛;冉祎;吴建清;刘晓斌;周维维;杨鹏程 | 申请(专利权)人: | 四川永祥多晶硅有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张子宽 |
地址: | 614800 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 布置 结构 | ||
本实用新型公开了一种硅棒布置结构,对于60对棒,按照同心圆布置,每相的相电流均位于同一圈硅棒的轨迹上。本实用新型将60对棒按照同心圆的布置方式来布置。特别地,本实用新型中的每相的相电流均位于同一圈硅棒的轨迹上。换言之,本实用新型中的60对棒中的相电流不跨圈。如此,能够精确地控制每圈硅棒的温场,进而提高硅棒质量。
技术领域
本实用新型涉及硅棒还原炉技术领域,更具体地说,涉及一种硅棒布置结构。
背景技术
目前国内外普遍应用的是40对棒炉,即硅棒还原炉内排布有40对硅棒。40对棒炉属于中型硅棒还原炉。为了提高生产效率,本领域技术人员设计了72对棒炉。不论是40对棒还是72对棒,都存在相电流跨圈的问题。而在硅棒还原炉中,每一圈硅棒所在的区域的温场如果电流跨圈,那么只能根据温场较高的一圈硅棒的温度来控制电流,以避免温场较高。但是,如果这样就会影响温场较低的一圈硅棒的温场,从而影响该圈硅棒的生长质量。
因此,如何避免相电流跨圈,从而能够精确地控制每圈硅棒的温场,进而提高硅棒的质量,是本领域技术人员亟待解决的关键性问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种硅棒布置结构,在该布置结构中,能够避免相电流跨圈,从而能够精确地控制每圈硅棒的温场,进而提高硅棒质量。为实现上述目的,提供了如下方案:
一种硅棒布置结构,对于60对棒,按照同心圆布置,每相的相电流均位于同一圈硅棒的轨迹上。
优选地,所述60对硅棒的排布方式为:从内圈到外圈依次为4对硅棒、8对硅棒、12对硅棒、16对硅棒、20对硅棒。
优选地,在每一圈的硅棒中,相邻硅棒间的棒间距为235mm。
优选地,相邻两圈硅棒之间的圈间距为295-302mm。
优选地,从里到外,第一圈的4对硅棒为第一组硅棒;第二圈的8对硅棒为第二组硅棒;第三圈的12对硅棒中,4对硅棒为第三组硅棒,剩余的8对硅棒为第四组硅棒;第四圈的16对硅棒中,其中8对硅棒为第五组硅棒,剩余的8对硅棒为第六组硅棒;第五圈的20对硅棒中,其中的4对硅棒为第七组硅棒,剩余的16对硅棒中,其中8对硅棒为第八组硅棒,剩余的8对硅棒为第九组硅棒;在第一组硅棒到第九组硅棒中,每一组硅棒对应一个相电流。
优选地,相邻两圈硅棒间设置有一圈喷嘴。
优选地,从里到外,第一圈喷嘴为4个,第二圈喷嘴为8个,第三圈喷嘴为16个,第四圈喷嘴为24个。
优选地,围绕最外圈的硅棒设置有多个尾气孔。
优选地,围绕最外圈的硅棒均布有8个尾气孔。
优选地,最内圈的硅棒的圆心处设置有一个尾气孔。
从上述技术方案可以看出,本实用新型将60对棒按照同心圆的布置方式来布置。特别地,本实用新型中的每相的相电流均位于同一圈硅棒的轨迹上。换言之,本实用新型中的60对棒中的相电流不跨圈。如此,能够精确地控制每圈硅棒的温场,进而提高硅棒质量。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的方案,下面将对实施例中描述所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型一具体实施例提供的9相电流的分布图;
图2为本实用新型一具体实施例提供的60对棒还原炉的平面图。
其中,1为硅棒、2为喷嘴、3为尾气孔、4为还原炉炉体。
具体实施方式
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