[实用新型]气体泄露定量分析装置

权利要求书

1.一种气体泄露定量分析装置，包括选择性泄露模块(1)和调压装置(3)，其特征在于，所述选择性泄露模块(1)上设有球阀(2)，所述选择性泄露模块(1)通过密封管道(5)与气体流量计量装置(4)连通，所述调压装置(3)一端通过密封管道(5)与气体流量计量装置(4)连通。

2.根据权利要求1所述的气体泄露定量分析装置，其特征在于，所述球阀(2)数量为10个，10个所述球阀(2)分两排安装在选择性泄露模块(1)上，10个球阀(2)上的闷头分别采用激光钻孔，且钻孔的直径分别为0.1mm，0.2mm，0.3mm，0.4mm，0.5mm，0.6mm，0.7mm，0.8mm，0.9mm，1.0mm，且球阀(2)配有2.0mm，3.0mm可替换闷头。

3.根据权利要求1所述的气体泄露定量分析装置，其特征在于，所述气体流量计量装置(4)为流量计量集成热式质量流量计。

4.根据权利要求1所述的气体泄露定量分析装置，其特征在于，所述调压装置(3)为调压阀。

5.根据权利要求1所述的气体泄露定量分析装置，其特征在于，所述密封管道(5)将选择性泄露模块(1)和气体流量计量装置(4)连接起来构成一套整体装置。