[实用新型]测量极低温下纳米谐振器振动模式的装置

权利要求书

1.一种测量极低温下纳米谐振器振动模式的装置，其特征在于，包括：激光器、调节光路、半透半反镜、光强测量装置、低温恒温器、五轴位移器、控制器、纳米谐振器、PCB电路板、若干柔性波导、同轴线、激励电源、频率测量装置、以及若干导线：

其中：所述的低温恒温器包括恒温腔，恒温腔内部以及外部均设置若干个微波传输接口；

所述的五轴位移器、PCB电路板、纳米谐振器均置于恒温腔中；

PCB电路板设置于五轴位移器上；

纳米谐振器置于PCB电路板上，并与PCB电路板通过导线连接，用于传输激励信号和振动信号；

PCB电路板与恒温腔内部的微波传输接口之间通过柔性波导连接；

恒温腔外部的微波传输接口与所述的激励电源以及频率测量装置之间均通过同轴线连接；

五轴位移器与恒温腔外部的控制器通过导线相连，用于传输控制信号；

激光器发出的激光经调节光路和半透半反镜入射到恒温腔中，从纳米谐振器反射的光透过半透半反镜入射到光强测量装置；所述的激励电源、同轴线、恒温腔外部的微波传输接口、恒温腔内部的微波传输接口、柔性波导、PCB电路板和纳米谐振器依次连接构成闭合回路；

纳米谐振器、柔性波导、恒温腔内部的微波传输接口、恒温腔外部的微波传输接口、同轴线、频率测量装置依次连接构成闭合回路。

2.根据权利要求1所述的测量极低温下纳米谐振器振动模式的装置，其特征在于，所述的调节光路包括：可调衰减片、单模光纤、双凸透镜聚焦系统；激光器发出的激光经过衰减片衰减后，再经过单模光纤选模，最后通过双凸透镜聚焦系统，激光的束腰位于恒温腔内的纳米谐振器附近。

3.根据权利要求1所述的测量极低温下纳米谐振器振动模式的装置，其特征在于：在五轴位移器上预留螺孔，在PCB电路板对应位置也留有螺孔，用螺丝将PCB电路板固定在五轴位移器上；五轴位移器带动PCB电路板和纳米谐振器实现俯仰、偏转和平移。