[实用新型]一种用于微流控芯片制造的PDMS浇注系统有效

专利信息
申请号: 202021176122.3 申请日: 2020-06-23
公开(公告)号: CN213006152U 公开(公告)日: 2021-04-20
发明(设计)人: 唐文来;樊宁;夏培;乔羽;庄勇进 申请(专利权)人: 江苏敦超电子科技有限公司;南京汉星工业设计有限公司
主分类号: B29C39/10 分类号: B29C39/10;B29C39/24;B29C39/44;B81C1/00
代理公司: 南京禾易知识产权代理有限公司 32320 代理人: 张松云
地址: 213000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 微流控 芯片 制造 pdms 浇注 系统
【权利要求书】:

1.一种用于微流控芯片制造的PDMS浇注系统,其特征在于:包括

PDMS浇注控制单元,所述PDMS浇注控制单元包括计算机、压力控制器、与压力控制器正压输入端相连的空气压缩机、与压力控制器负压输入端相连的真空泵,计算机与压力控制器相连,用于调整压力控制器的输出状态;

PDMS浇注配料单元,所述PDMS浇注配料单元包括储料罐和混料桶,其中压力控制器的输出端分别连接储料罐的进气孔,储料罐的出料口与混料桶相连且在储料罐与混料桶之间设有储料罐流量计,所述储料罐流量计与计算机相连,用于设置和监测储料罐的出料量;

PDMS浇注成型单元,所述PDMS浇注成型单元包括挤出装置、芯片模具和与计算机通信连接的三维运动平台,所述挤出装置的挤出喷头固定在维运动平台上,所述芯片模具位于挤出喷头的正下方。

2.根据权利要求1所述的PDMS浇注系统,其特征在于:所述PDMS浇注配料单元包括PDMS混合搅拌模块,所述PDMS混合搅拌模块包括搅拌桨气动马达和与所述搅拌桨气动马达依次相连的主动齿轮、从动齿轮、空心轴和搅拌桨,主动齿轮与从动齿轮啮合传动,从动齿轮安装在空心轴的顶端,搅拌桨安装在空心轴的底端,搅拌桨气动马达连接用于给搅拌桨气动马达施加压力的压力控制器。

3.根据权利要求1所述的PDMS浇注系统,其特征在于:所述挤出装置包括挤出喷头、阀芯气缸和阀芯,阀芯穿过空心轴一端与阀芯气缸相连,另一端连接混料桶的出料口,阀芯气缸与压力控制器相连,用于控制阀芯与出料口的盖合状态,所述挤出喷头与混料桶的出料口管路连接,且管路上设有混料桶挤出流量计,混料桶挤出流量计与计算机相连,用于设置和监测混料桶的出料量。

4.根据权利要求1所述的PDMS浇注系统,其特征在于:所述储料罐包括PDMS预聚体储料罐和PDMS固化剂储料罐,储料罐流量计包括PDMS预聚体流量计和PDMS固化剂流量计,分别与计算机相连,用于设置和监测PDMS预聚体和PDMS固化剂的出料量。

5.根据权利要求1所述的PDMS浇注系统,其特征在于:所述压力控制器的输出端与混料桶相连,用于对混料桶施加负压,消除混料桶中PDMS混合液的气泡。

6.根据权利要求1所述的PDMS浇注系统,其特征在于:所述压力控制器设有多个正压输出端和多个负压输出端,所述计算机内置用于控制压力控制器的输出状态的软件程序。

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