[实用新型]一种MEMS毫米波滤波器盖板

权利要求书

1.一种MEMS毫米波滤波器盖板，其特征在于，包括：底板和设于所述底板上的凸板，所述底板和所述凸板均呈矩形设置，所述凸板位于所述底板的中部；

所述底板的一对角处上均设有第一定位槽，所述底板的另一对角处上设有若干定位通孔，若干所述定位通孔沿所述底板的长度方向设置；

所述凸板的一侧设有若干第二定位槽和若干第三定位槽，所述凸板的另一侧设有若干第四定位槽，若干所述第二定位槽、若干所述第三定位槽和若干所述第四定位槽均沿所述凸板的长度方向设置。

2.根据权利要求1所述MEMS毫米波滤波器盖板，其特征在于，所述第二定位槽的数量为三个，两所述第二定位槽设于所述凸板的一侧的两端，另一所述第二定位槽设于所述凸板的一侧的中部，该两所述第二定位槽对称位于另一所述第二定位槽的两侧。

3.根据权利要求2所述MEMS毫米波滤波器盖板，其特征在于，所述第三定位槽的数量为两个，两所述第三定位槽分别位于该两所述第二定位槽的一侧，所述第二定位槽的宽度与所述第三定位槽的宽度相等，所述第二定位槽的长度大于所述第三定位槽的长度。

4.根据权利要求3所述MEMS毫米波滤波器盖板，其特征在于，三所述第二定位槽沿所述凸板的长度方向依次包括：第一深槽、第二深槽和第三深槽，两所述第三定位槽沿所述凸板的长度方向依次包括：第一浅槽和第二浅槽，所述第一深槽位于所述凸板的一端，所述第二深槽位于所述凸板的中部，所述第三深槽位于所述凸板的另一端，所述第一深槽和所述第三深槽分别对称位于所述第二深槽的两侧，所述第一浅槽位于所述第一深槽的一侧，且位于所述第一深槽与所述第二深槽之间，所述第二浅槽位于所述第三深槽的一侧，且位于所述第三深槽与所述凸板的另一端之间。

5.根据权利要求1所述MEMS毫米波滤波器盖板，其特征在于，所述第四定位槽的数量为三个，三所述第四定位槽分别沿所述凸板的长度方向依次设于所述凸板的另一侧的一端。

6.根据权利要求4所述MEMS毫米波滤波器盖板，其特征在于，所述第二定位槽的深度与所述凸板的厚度相等，所述第三定位槽的深度与所述第四定位槽的深度相等，所述第三定位槽的深度为所述凸板的厚度的一半。

7.根据权利要求1所述MEMS毫米波滤波器盖板，其特征在于，所述定位通孔的数量为三个，三所述定位通孔沿所述底板的长度方向依次设置。

8.根据权利要求1所述MEMS毫米波滤波器盖板，其特征在于，每一所述第一定位槽均包括：一圆槽和两限位槽，两所述限位槽分别与所述圆槽相连通，一所述限位槽沿所述底板的长度方向设置，另一所述限位槽沿所述底板的宽度方向设置，该一所述限位槽与另一所述限位槽垂直设置。

9.根据权利要求1所述MEMS毫米波滤波器盖板，其特征在于，所述第一定位槽的深度为所述底板的厚度的一半。

10.根据权利要求1所述MEMS毫米波滤波器盖板，其特征在于，所述凸板的四角处均设有圆弧倒角，所述底板的四角处均设有圆弧倒角。