[实用新型]一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉有效
申请号: | 202021190767.2 | 申请日: | 2020-06-24 |
公开(公告)号: | CN212533104U | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 王永超;赵泽良 | 申请(专利权)人: | 河南东微电子材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;B22F3/14 |
代理公司: | 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人: | 孔丽丽 |
地址: | 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 高纯 制备 真空 热压 | ||
本实用新型公开了一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉,包括真空热压炉本体,所述真空热压炉本体底座上设有固定轴,所述真空热压炉本体内设有模槽,所述模槽内插设有模具,所述模槽的顶面和底部上均插设有柱形水冷组件本体,所述模具的上下两端分别与两个柱形水冷组件本体相抵接触。本实用新型通过橡胶制品的圆形块配合圆形插槽内的环形密封圈对柱形水冷组件本体提供防护,延长柱形水冷组件本体的使用寿命,通过伺服电机带动螺纹杆转动,使其带动螺纹套接的升降块在连接杆上滑块和滑槽的限位作用下进行升降,并配合圆形套筒带动压紧杆抵住柱形水冷组件本体后配合固定轴压紧模具,代替人工手动操作,省时省力。
技术领域
本实用新型涉及真空热压炉技术领域,尤其涉及一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉。
背景技术
高纯钌靶采用高纯化合物粉末为原料,通过常压烧结法、真空热压法以及热等静压法等工艺成型,真空热压炉广泛应用于硬质合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高温、高真空条件下进行热压烧结处理,也可在充气保护情况下热压成形烧结。
现有的真空热压炉在实际使用时,其丝杆压紧结构需要人工手动调节,费时费力,且炉内水冷块缺少防护结构,现提出一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型提出了一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉,用于解决背景技术中现有的真空热压炉在实际使用时,其丝杆压紧结构需要人工手动调节,费时费力,且炉内水冷块缺少防护结构的技术问题。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉,包括真空热压炉本体,所述真空热压炉本体底座上设有固定轴,所述真空热压炉本体内设有模槽,所述模槽内插设有模具,所述模槽的顶面和底部上均插设有柱形水冷组件本体,所述模具的上下两端分别与两个柱形水冷组件本体相抵接触,所述柱形水冷组件本体远离模槽的一端均设有防护件,所述真空热压炉本体的上端贯穿设有压紧机构,所述压紧机构上设有驱动件,所述驱动件与压紧机构传动连接,所述压紧机构和固定轴均与防护件卡接。
优选地,所述防护件包括分别固定连接于两个柱形水冷组件本体远离模槽一端上的圆形块,两块所述圆形块远离柱形水冷组件本体的一端均设有圆形插槽,所述圆形插槽的环形内壁上固定连接有环形密封圈,所述压紧机构和固定轴分别插设于两侧圆形插槽内并贯穿环形密封圈设置。
优选地,所述圆形块和环形密封圈均为橡胶制品。
优选地,所述压紧机构包括固定连接于真空热压炉本体上端的U型板,所述U型板的开口竖直朝下设置,所述驱动件设置于U型板靠近右侧的上端,所述U型板的顶面上竖直转动贯穿设有螺纹杆,所述螺纹杆位于U型板开口外的一端上同轴固定连接有第一锥齿轮,所述第一锥齿轮与驱动件传动连接,所述螺纹杆位于U型板开口内的一端上螺纹套接有升降块,所述升降块与U型板开口的左侧内壁滑动连接,所述升降块的下端固定连接有罩设螺纹杆设置的圆形套筒,所述圆形套筒的下端固定连接有压紧杆,所述压紧杆的下端贯穿真空热压炉本体上端并插设于圆形插槽内,所述压紧杆贯穿环形密封圈设置。
优选地,所述U型板开口的左侧内壁上设有滑槽,所述滑槽内滑动连接有与之相匹配的滑块,所述升降块的左端侧壁上固定连接有连接杆,所述滑块远离滑槽的一端与连接杆固定连接。
优选地,所述驱动件包括固定安装于U型板靠近右侧上端的伺服电机,所述伺服电机的驱动轴上固定连接有转轴,所述转轴上同轴固定连接有第二锥齿轮,所述第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合。
本实用新型与现有技术相比,其有益效果为:
1、通过橡胶制品的圆形块配合圆形插槽内的环形密封圈对柱形水冷组件本体提供防护,延长柱形水冷组件本体的使用寿命。
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