[实用新型]一种真空脱泡机有效

专利信息
申请号: 202021194177.7 申请日: 2020-06-24
公开(公告)号: CN212881169U 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 马海涛;殷建辉 申请(专利权)人: 苏州隆成电子设备有限公司
主分类号: B01D19/02 分类号: B01D19/02
代理公司: 苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙) 32366 代理人: 周子轶
地址: 215000 江苏省苏州市吴*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空 脱泡
【权利要求书】:

1.一种真空脱泡机,其特征在于:包括工作台面,固定于所述工作台面上的真空板,吸附于所述真空板上的载具,设置于所述工作台面的上方能相对所述工作台面运动与所述工作台面间形成真空腔的真空罩;

所述真空板上的第一真空孔与第一气路相连通,所述第一气路上设有用于调节所述第一气路内真空度的第一真空调压阀,从而使所述真空板吸附所述载具;

所述载具上的第二真空孔与第二气路相连通,所述第二气路上设有用于调节所述第二气路内真空度的第二真空调压阀,从而使所述载具吸附PCB;

所述真空腔与第三气路相连通,所述第三气路上设有用于调节所述第三气路内真空度的第三真空调压阀,从而使所述真空腔用于对所述PCB内脱泡。

2.根据权利要求1所述的真空脱泡机,其特征在于:所述第一气路、所述第二气路与所述第三气路并联至真空泵。

3.根据权利要求1所述的真空脱泡机,其特征在于:所述真空腔的真空度小于所述第一气路内的真空度,所述真空腔内的真空度小于所述第二气路内的真空度。

4.根据权利要求1所述的真空脱泡机,其特征在于:所述真空板内设置有真空吸盘,所述真空吸盘一端与所述第二气路相连通,所述真空吸盘另一端与所述第二真空孔相连通。

5.根据权利要求4所述的真空脱泡机,其特征在于:所述真空吸盘包括两个,两个所述真空吸盘串联至所述第二气路。

6.根据权利要求4所述的真空脱泡机,其特征在于:所述载具上设置有真空槽,所述第二真空孔与所述真空槽相连通。

7.根据权利要求6所述的真空脱泡机,其特征在于:所述真空槽呈矩形。

8.根据权利要求1所述的真空脱泡机,其特征在于:所述第一真空孔呈阵列分布于所述真空板表面。

9.根据权利要求1所述的真空脱泡机,其特征在于:所述工作台面的两侧相对设置有升降气缸,所述升降气缸的连杆与所述真空罩相连,用于驱动所述真空罩朝向或背离所述工作台面运动。

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