[实用新型]衍射光学元件、TOF深度传感器、光学系统及装置有效
| 申请号： | 202021194567.4 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN212379600U | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 鞠晓山;冯坤亮;李宗政 | 申请（专利权）人： | 欧菲微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B27/10;G03B15/02;G01S17/36;G01S17/89 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 左帮胜 |
| 地址： | 330200 江西省南昌市南昌*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衍射 光学 元件 tof 深度 传感器 光学系统 装置 | ||
1.一种衍射光学元件，其特征在于，包括：
基底，划分为若干个像素区域；
若干个岛状结构，形成于所述基底且呈阵列排布，每一个所述岛状结构在所述基底上的投影覆盖至少四个像素区域。
2.根据权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，所述衍射光学元件投射形成的亮点为3*3阵列排布。
3.根据权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，所述像素区域的尺寸为190nm-200nm。
4.根据权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，每一个所述岛状结构沿垂直于所述基底方向的高度为450nm-750nm，或者900nm-1μm。
5.根据权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，相邻两个所述岛状结构之间的中心距离为2.5μm-5μm。
6.根据权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，任意两个所述岛状结构的一致性大于82％。
7.根据权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，每一个所述岛状结构为狗骨头状或者蝴蝶结状。
8.一种TOF深度传感器，其特征在于，包括：
激光投射器，用于向被探测空间投射带有相位信息的周期红外激光信号；
如权利要求1-7中任一项所述的衍射光学元件，设置于所述激光投射器出光方向，用于将一束红外激光信号均匀的分配成L束出射红外激光信号，每一束出射红外激光信号投射至被测目标后，形成反射信号，其中L为大于1的正整数；以及
图像传感器，用于根据所述出射红外激光信号和所述出射红外激光信号的反射信号获取深度信息。
9.一种光学系统，其特征在于，包括权利要求1-7中任一项所述的衍射光学元件。
10.一种光学装置，其特征在于，包括权利要求9所述的光学系统。
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