[实用新型]用于高深宽比深孔结构晶圆或薄胶喷涂晶圆的喷嘴装置

权利要求书

1.一种用于高深宽比深孔结构晶圆或薄胶喷涂晶圆的喷嘴装置，其特征在于：该喷嘴装置包括液体输送管、雾化装置和除灰化装置，所述液体输送管与所述雾化装置相连接，所述雾化装置与所述除灰化装置相连接；其中：

液体输送管：用于将喷胶用光刻胶或保护隔离层输送至所述雾化装置；

雾化装置：用于将所述液体输送管输送的喷胶用光刻胶或保护隔离层雾化成液滴，并将液滴直接作用于晶圆表面；所述雾化装置包括雾化片；

除灰化装置：用于将灰化后的小液滴吸附出去，或者溶解喷洒时产生的微小液滴，以达到理想净化效果。

2.根据权利要求1所述的用于高深宽比深孔结构晶圆或薄胶喷涂晶圆的喷嘴装置，其特征在于：该喷嘴装置还包括外壳和密封盖，密封盖设于外壳顶部，外壳与密封盖形成一个密闭空间，外壳高度范围0.5-30mm；所述雾化装置设于该密闭空间内。

3.根据权利要求2所述的用于高深宽比深孔结构晶圆或薄胶喷涂晶圆的喷嘴装置，其特征在于：所述液体输送管伸入所述密封盖后连接临时储液槽，临时储液槽位于所述雾化片上方；所述雾化片上设有多个通孔，通孔的排布方式为环形排布、圆形排布、蜂窝排布或线性排布；雾化片上通孔大小范围为1-20μm，根据不同工艺需求设计通孔的排布方式、通孔数量和通孔大小。

4.根据权利要求3所述的用于高深宽比深孔结构晶圆或薄胶喷涂晶圆的喷嘴装置，其特征在于：所述雾化片上具有震荡片。

5.根据权利要求1所述的用于高深宽比深孔结构晶圆或薄胶喷涂晶圆的喷嘴装置，其特征在于：所述除灰化装置通过管路连接于该喷嘴装置的外壳侧壁上，所述除灰化装置为真空发生器除灰化装置或丙酮buffer除灰化装置。

6.根据权利要求5所述的用于高深宽比深孔结构晶圆或薄胶喷涂晶圆的喷嘴装置，其特征在于：所述真空发生器除灰化装置包括真空发生器，真空发生器使用CDA气体。

7.根据权利要求5所述的用于高深宽比深孔结构晶圆或薄胶喷涂晶圆的喷嘴装置，其特征在于：所述丙酮buffer除灰化装置包括顶部开两个孔的容器，容器内盛装丙酮，容器顶部一个孔连接氮气管，另一个孔内插入玻璃管且玻璃管伸入丙酮中，玻璃管上端通过管路连接到所述喷嘴装置的外壳侧壁上。