[实用新型]一种氮化铝陶瓷基板的脱泡装置

说明书

本实用新型提供一种氮化铝陶瓷基板的脱泡装置，包括壳体，壳体的内部上端固定安装有脱泡室，壳体的内部中端滑动安装有分隔板，壳体的内部下端固定安装有泵机室，壳体的底侧外表面四角位置均固定安装有支撑架，支撑架的底侧固定连接有防滑胶脚，防滑胶脚的底侧表面面积大于支撑架的底侧表面面积，壳体的顶侧外表面中央位置固定安装有电机箱，电机箱的内部固定安装有驱动电机，驱动电机的下端转动安装有驱动轴，驱动轴为可伸缩结构，驱动轴的尾端外表面固定安装有搅拌桨，搅拌桨在一个纵截面上呈3行2列分布。本实用新型可以起到增强脱泡室的密封性、使最终浆料中的气泡被彻底脱离从而保证最终生产出的氮化铝陶瓷基板的产品质量的作用。

技术领域

本实用新型涉及氮化铝陶瓷基板设备技术领域，具体是一种氮化铝陶瓷基板的脱泡装置。

背景技术

氮化铝陶瓷具有优良的绝缘性、导热性、耐高温性和耐腐蚀性，并与硅的热膨胀系数相匹配，成为新一代大规模集成电路、半导体模块电路及大功率器件的理想散热和封装材料。目前，制备氮化铝陶瓷基板的主要方法是流延成型，且大多数为有机溶剂流延成型。流延成型技术由GlennN.Howatt首次提出并成功地将其应用于微波介质陶瓷多层电容器的制备。流延成型技术设备简单，有利于连续性操作，基本上实现自动化，生产效率较高，而其制备膜片的成本较低，较适合工业化生产，在普通的流延机上进行流延成型制备出厚度10μm～1mm的薄片，然后再将薄片冲压成生坯，再进行烧结形成陶瓷基板。其中，在对氮化铝陶瓷基板的生产加工过程中会用到脱泡装置。

但是，现有技术中的氮化铝陶瓷基板的脱泡装置，由于脱泡室的密封性较差，不能保证后期进行流延成型的陶瓷浆料中完全没有气泡，而浆料中气泡的存在会导致最终生产出的氮化铝陶瓷基板存在较大产品瑕疵。

实用新型内容

(一)技术问题

针对现有技术存在的不足，本实用新型提供一种氮化铝陶瓷基板的脱泡装置，旨在解决现有技术中的氮化铝陶瓷基板的脱泡装置在脱泡作业时存在着由于脱泡室的密封性较差，不能保证后期进行流延成型的陶瓷浆料中完全没有气泡，而浆料中气泡的存在会导致最终生产出的氮化铝陶瓷基板存在较大产品瑕疵的技术问题。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：该一种氮化铝陶瓷基板的脱泡装置，包括壳体，所述壳体的内部上端固定安装有脱泡室，所述壳体的内部中端滑动安装有分隔板，所述壳体的内部下端固定安装有泵机室，所述壳体的底侧外表面四角位置均固定安装有支撑架，所述支撑架的底侧固定连接有防滑胶脚，所述防滑胶脚的底侧表面面积大于所述支撑架的底侧表面面积，所述壳体的顶侧外表面中央位置固定安装有电机箱，所述电机箱的内部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的下端转动安装有驱动轴，所述驱动轴为可伸缩结构，所述驱动轴的尾端外表面固定安装有搅拌桨，所述搅拌桨在一个纵截面上呈3行2列分布，所述搅拌桨的外表面环绕固定安装有过滤网，所述电机箱的左侧外表面中央位置固定安装有第一开启按钮，所述第一开启按钮的下端固定连接有第一关闭按钮，所述脱泡室的底侧内表面中央位置放置有浆料箱，所述浆料箱的内部填充有陶瓷浆料，所述陶瓷浆料的内部存在有气泡，所述浆料箱的底侧外表面与所述分隔板的顶侧外表面互相贴合，所述泵机室的内部右端中部固定安装有真空泵机，所述真空泵机的底侧固定安装有泵机底座，所述泵机底座的底侧外表面与所述泵机室的底侧内表面固定连接，所述泵机室的前侧外表面左端位置固定安装有第二开启按钮，所述第二开启按钮的下端固定连接有第二关闭按钮。

优选地，所述第一开启按钮和所述第一关闭按钮通过与外界电源连通而控制所述驱动电机的向下驱动与停止。

优选地，所述脱泡室的顶侧内表面固定安装有第一橡胶层，所述脱泡室的底侧内表面固定安装有第二橡胶层且分布在所述浆料箱的左右端。

优选地，所述脱泡室的左侧内表面固定安装有第三橡胶层，所述脱泡室的右侧内表面固定安装有第四橡胶层。