[实用新型]集成化便携式高精度MicroGC-MOS检测仪

权利要求书

1.一种集成化便携式高精度MicroGC-MOS检测仪，其特征在于，包括催化燃烧氧化器、进样器、色谱柱和阵列MOS传感器；

催化燃烧氧化器，与一载气源相连，用于净化载气；

进样器，连接于所述催化燃烧氧化器的后端，用于将待测物注入载气中；

色谱柱，连接于所述进样器的后端，用于将载气载带的待测物进行分离；

阵列MOS传感器，连接于所述色谱柱的后端，用于将分离后的待测物组分进行检测。

2.如权利要求1所述的集成化便携式高精度MicroGC-MOS检测仪，其特征在于，所述阵列MOS传感器包括一个或多个敏感单元；当所述阵列MOS传感器包括多个敏感单元时，多个敏感单元的气敏材料相同或者不同。

3.如权利要求2所述的集成化便携式高精度MicroGC-MOS检测仪，其特征在于，所述阵列MOS传感器还包括与所述敏感单元匹配的电极和加热板，所述加热板设置于所述电极周围，所述敏感单元位于所述电极上。

4.如权利要求1所述的集成化便携式高精度MicroGC-MOS检测仪，其特征在于，所述进样器包括六通阀和定量管；所述六通阀包括定量管入口、定量管出口、载气入口、载气出口、样气入口和样气出口；所述定量管的两端分别连接于所述定量管入口和定量管出口；所述载气入口与所述催化燃烧氧化器相连；所述载气出口与所述色谱柱相连。

5.如权利要求4所述的集成化便携式高精度MicroGC-MOS检测仪，其特征在于，所述集成化便携式高精度MicroGC-MOS检测仪还包括净化器和第一隔膜泵；其中，所述净化器与所述六通阀的样气入口连接，用于将待测物进行干燥及净化处理；所述第一隔膜泵，与所述样气出口连接，用于输送待测物。

6.如权利要求4所述的集成化便携式高精度MicroGC-MOS检测仪，其特征在于，所述集成化便携式高精度MicroGC-MOS检测仪还包括电子压力控制阀和第二隔膜泵，所述第二隔膜泵与所述催化燃烧氧化器的入口端连接，用于输送载气；所述电子压力控制阀设置于所述催化燃烧氧化器与所述载气入口之间，用于对载气进行稳压。

7.如权利要求6所述的集成化便携式高精度MicroGC-MOS检测仪，其特征在于，所述电子压力控制阀为0.1ml/min的控制精度。

8.如权利要求4所述的集成化便携式高精度MicroGC-MOS检测仪，其特征在于，所述六通阀为气动微型六通阀，响应速度小于30ms。

9.如权利要求1所述的集成化便携式高精度MicroGC-MOS检测仪，其特征在于，所述催化燃烧氧化器包括催化燃烧氧化器壳体，在所述催化燃烧氧化器壳体内设置催化剂；在所述催化燃烧氧化器壳体外设置加热器；

所述催化剂包括催化活性组分和催化剂载体；所述催化活性组分负载于所述催化剂载体上；所述催化活性组分为贵金属或者金属氧化物；所述催化剂载体为多孔材料。

10.如权利要求1所述的集成化便携式高精度MicroGC-MOS检测仪，其特征在于，所述色谱柱包括毛细色谱柱或者微型填充气相色谱柱。