[实用新型]贴膜设备

说明书

本申请公开了一种贴膜设备，包括工作台、安装于工作台的贴膜台、滑动安装于工作台的贴膜装置、用于驱动贴膜装置滑动的贴膜滑动驱动机构、滑动安装于工作台的剥膜装置、用于驱动剥膜装置滑动的剥膜滑动驱动机构，以及收卷膜装置；贴膜滑动驱动机构能够驱动贴膜装置移动至贴膜台的相对的两侧，剥膜滑动驱动机构能够驱动剥膜装置移动至贴膜台的相对的两侧。剥膜装置将运动到贴膜台处，将废膜与贴膜台剥离，剥膜滑动驱动机构带动剥膜装置移动，逐渐将贴膜台上各处的保护膜剥离，进而完成废膜的剥离，剥膜装置松开废膜，此时收卷膜装置动作，将废膜收卷，进而完成废膜的收卷，保证了收卷的效率。

技术领域

本申请涉及晶圆贴膜领域，尤其涉及一种贴膜设备。

背景技术

晶圆在生产过程中，需要在晶圆的表面贴覆保护膜。现有的方式为，将较大面积的保护膜贴覆于晶圆上，再对晶圆边缘的保护膜进行切割，使得贴附于晶圆上的保护膜与保护膜本体分离。切割后保护膜本体形成废膜粘接在贴膜台上，由于粘接力的存在，收卷机构收卷废膜时，废膜不易于与贴膜台分离，且容易被拉断，且收卷废膜的速度也较慢。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种贴膜设备，旨在解决现有技术中，贴膜后废膜收卷的效率低的问题。

为达此目的，本申请实施例采用以下技术方案：

贴膜设备，包括工作台、安装于所述工作台的贴膜台、滑动安装于所述工作台的贴膜装置、用于驱动所述贴膜装置滑动的贴膜滑动驱动机构、滑动安装于所述工作台的剥膜装置、用于驱动所述剥膜装置滑动的剥膜滑动驱动机构，以及收卷膜装置；所述贴膜滑动驱动机构能够驱动所述贴膜装置移动至所述贴膜台的相对的两侧，所述剥膜滑动驱动机构能够驱动所述剥膜装置移动至所述贴膜台的相对的两侧。

在一个实施例中，所述剥膜装置包括滑动安装于所述工作台的剥膜支架、转动安装于所述剥膜支架的剥膜辊、安装于所述剥膜支架的剥膜气缸，以及安装于所述剥膜气缸的活塞杆且与所述剥膜辊相配合的夹紧件。

在一个实施例中，所述夹紧件包括安装于所述剥膜气缸的活塞杆的剥膜连接板，以及安装于所述剥膜连接板的两个夹紧辊；所述剥膜连接板与所述剥膜辊相互平行，所述夹紧辊与所述剥膜辊相互平行；两个所述夹紧辊分别位于所述剥膜连接板的相对的两端。

在一个实施例中，所述剥膜装置还包括用于驱动所述剥膜辊转动的剥膜转动驱动机构；所述剥膜转动驱动机构包括安装于所述剥膜支架的剥膜转动电机、安装于所述剥膜转动电机的输出轴的剥膜第一带轮、安装于所述剥膜辊的剥膜第二带轮，以及设于所述剥膜第一带轮与所述剥膜第二带轮之间的剥膜传动带。

在一个实施例中，所述剥膜装置还包括安装于所述剥膜支架的检测轴、转动安装于所述检测轴的多个检测筒，以及设于每个所述检测筒与所述检测轴之间的转动检测传感器；多个所述检测筒沿所述检测轴的长度方向依次设置。

在一个实施例中，所述剥膜滑动驱动机构包括固定安装于所述工作台的剥膜滑动电机、固定安装于所述剥膜支架的剥膜丝杠螺母，以及与所述剥膜滑动电机的输出端相连且与所述剥膜丝杠螺母相配合的剥膜丝杠轴。

在一个实施例中，所述贴膜装置包括滑动安装于所述工作台的贴膜支架、滑动安装于所述贴膜支架的贴膜升降架、用于驱动所述贴膜升降架滑动的贴膜升降气缸，以及转动安装于所述贴膜升降架的贴膜压辊。

在一个实施例中，所述贴膜升降架与所述贴膜支架之间设有贴膜压力传感器。

在一个实施例中，所述贴膜滑动驱动机构包括固定安装于所述工作台的贴膜滑动电机、固定安装于所述贴膜支架的贴膜丝杠螺母，以及与所述贴膜滑动电机的输出端相连且与所述贴膜丝杠螺母相配合的贴膜丝杠轴。

在一个实施例中，所述收卷膜装置包括收卷膜立板、转动安装于所述收卷膜立板的收卷膜辊，以及用于驱动所述收卷膜辊转动的收卷膜驱动机构。