[实用新型]一种硅片酸洗池

权利要求书

1.一种硅片酸洗池，包括池体(1)和升降机构(2)，其特征在于：所述池体(1)的顶部外壁固定连接有升降机构(2)，所述池体(1)的内壁开设有卡接槽(3)，所述池体(1)的顶部外壁开设有滑轨(4)，所述滑轨(4)的内壁滑动连接有滑动块(5)，所述滑动块(5)的外壁固定连接有盖板(6)，所述盖板(6)的左右外壁固定连接有条形框(7)，所述条形框(7)的内壁滑动连接有圆形滑块(8)，所述圆形滑块(8)底部活动连接有移动组件(9)；

所述升降机构(2)包括动力组件(201)，所述动力组件(201)的右侧活动连接有转动盘(202)，所述转动盘(202)的内部开设有圆形槽(203)，所述圆形槽(203)的内壁滑动连接有转动柱(204)，所述转动柱(204)的底部活动连接有升降杆(205)，所述升降杆(205)的外壁套接有滑动套(206)，所述滑动套(206)的左侧外壁固定连接有卡接柱(207)，所述升降杆(205)的底部固定连接有漏液板(208)，所述转动柱(204)的外壁开设有H型槽(209)，所述H型槽(209)的内壁固定连接有弹性球(210)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片酸洗池，其特征在于：所述卡接槽(3)的内壁与卡接柱(207)的外壁滑动连接，所述移动组件(9)远离圆形滑块(8)的一侧与池体(1)的外壁固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片酸洗池，其特征在于：所述条形框(7)的内部开设有条形孔，且所述圆形滑块(8)的外壁与条形孔的内壁滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片酸洗池，其特征在于：所述动力组件(201)的底部固定连接有基座，且基座的底部外壁与池体(1)的顶部外壁固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片酸洗池，其特征在于：所述滑动套(206)的内部开设有与升降杆(205)相适配的滑动孔，所述漏液板(208)的内部开设有漏液口，所述弹性球(210)的外壁与圆形槽(203)的内壁滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片酸洗池，其特征在于：所述池体(1)的内壁由陶瓷材料制成，所述升降机构(2)均由具有致密氧化膜的金属铝材料制成。