[实用新型]应用于晶圆盒自动封装设备中的进出料装置

权利要求书

1.一种应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的进出料装置，其特征在于：所述进出料装置包括进料平台(2)和出料平台(18)，所述进料平台(2)包括第一放置平台(24)以及限位机构(27)，所述限位机构(27)能够将所述晶圆盒(200)定位于所述第一放置平台(24)上，所述出料平台(18)包括货叉(181)和第二放置平台(184)，所述第二放置平台(184)滑动定位在能够伸缩运动的所述货叉(181)上。

2.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的进出料装置，其特征在于：所述晶圆盒(200)的底部设有凹槽，所述限位机构(27)与所述凹槽配合后再旋转而将所述晶圆盒(200)定位在第一放置平台(24)上。

3.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的进出料装置，其特征在于：所述进料平台(2)包括位置检测传感器(25)，所述位置检测传感器(25)设置在第一放置平台(24)上。

4.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的进出料装置，其特征在于：所述进料平台(2)包括产品信息识别传感器(26)，所述产品信息识别传感器(26)设置在第一放置平台(24)上。

5.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的进出料装置，其特征在于：所述进料平台(2)包括轨道(22)和第一直线模组(23)，所述第一放置平台(24)滑动设于所述轨道(22)和所述第一直线模组(23)上。

6.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的进出料装置，其特征在于：所述货叉(181)至少包括前段货叉(1811)和后段货叉(1813)，所述前段货叉(1811)能够朝向所述后段货叉(1813)的方向收缩。

7.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的进出料装置，其特征在于：所述进料平台(2)和出料平台(18)在晶圆盒自动封装设备(100)中为左右毗邻的并排设置。