[实用新型]相机装调装置及相机装调系统

说明书

本申请提供了一种相机装调装置及相机装调系统。相机装调装置包括基板；运动平台设于基板上，运动平台能够相对基板沿第一方向运动；及设于运动平台上的多个装调机构，装调机构包括第一安装机构、第二安装机构、第一调节机构和第二调节机构，第一安装机构与第二安装机构沿轴向对接，第一安装机构远离第二安装机构的一端用于安装镜头，第二安装机构远离第一安装机构的一端用于安装相机；第一调节机构的一端固定于运动平台，第一调节机构的另一端固定第一安装机构；第二调节机构连接第二安装机构与相机。本申请提供的相机装调装置能够快速装调和并实现显示面板的快速检测。

技术领域

本申请涉及半导体光学检测技术领域，具体涉及一种相机装调装置及相机装调系统。

背景技术

有机电致发光显示器(Organic Light Emitting Display，OLED)具有低功耗、宽视角、主动发光、易实现柔性制造等优点，大量应用于各行各业。但由于其复杂的制造工艺，使得面板不可避免地会出现微小的缺陷，这些缺陷对OLED的显示效果造成极大地影响。为了提高面板的显示质量和成品率，必须在OLED面板制造中加入缺陷检测环节。统计显示在OLED制造过程中产生的缺陷主要包括：电路短路、断路，外部粒子、特征尺寸问题、过刻蚀和欠刻蚀等。为了提高OLED面板的质量和成品率，需要对产生的缺陷进行检测、分类以及对部分的缺陷进行修复。

在OLED面板检测领域，由于G5代以后的面板尺寸较大(长×宽1000mm×1000mm)，对于这种尺寸的面板要进行快速的全尺寸扫描，在确保精度的条件下，常常需要将多个检测设备成排设置组成线阵。这种线阵相机需要多个相机的镜头到达检测面的距离相等，而且为了检测准确性，需要这些相机排列在一条直线上，这就大大增加了线阵相机的安装和调试的难度。

实用新型内容

本申请提供了一种能够快速装调和检测的相机装调装置及相机装调系统。

一方面，本申请提供了一种相机装调装置，包括：

基板；

运动平台，设于所述基板上，所述运动平台能够相对所述基板沿第一方向运动；及

设于所述运动平台上的多个装调机构，所述装调机构包括第一安装机构、第二安装机构、第一调节机构和第二调节机构，所述第一安装机构与所述第二安装机构沿轴向对接，所述第一安装机构远离所述第二安装机构的一端用于安装镜头，所述第二安装机构远离所述第一安装机构的一端用于安装相机；所述第一调节机构的一端固定于所述运动平台，所述第一调节机构的另一端固定所述第一安装机构，用于调节安装于多个所述装调机构上的所述镜头的光轴与检测面的垂直度；所述第二调节机构连接所述第二安装机构与所述相机，用于调节安装于多个所述装调机构上的所述相机在所述检测面形成的检测区域的平行度。

在一种可能的实施方式中，所述第一调节机构包括固定板、安装板、支架及连接组件，所述固定板固定于所述运动平台背离所述基板的端面；所述安装板的一端与所述固定板通过转轴转动连接，所述安装板的另一端设有所述支架，所述支架固定连接所述第一安装机构，所述连接组件设于所述固定板上并抵接所述安装板，以通过驱动所述安装板相对所述固定板旋转来调节所述镜头的光轴与所述检测面的垂直度。

在一种可能的实施方式中，所述连接组件包括第一连接件和第二连接件，所述第一连接件和所述第二连接件位于所述第一安装机构的相对两侧，所述第一连接件包括第一固定件和第一活动件，所述第一固定件固定于所述固定板，所述第一活动件螺纹连接所述第一固定件并抵接所述安装板的一端，所述第二连接件包括第二固定件和第二活动件，所述第二固定件固定于所述固定板，所述第二活动件螺纹连接所述第二固定件并抵接所述安装板的另一端。

在一种可能的实施方式中，所述支架包括可拆卸连接的第一固定部和第二固定部，所述第一固定部和所述第二固定部围接于所述第一安装机构的外周面。