[实用新型]一种硅微粉煅烧用石英坩埚

说明书

本实用新型提供一种硅微粉煅烧用石英坩埚，属于硅微粉煅烧技术领域，该种硅微粉煅烧用石英坩埚包括坩埚本体和坩埚盖，坩埚盖底面固定连接有刮杆，坩埚盖上开设有安装槽，安装槽的底面开设有与坩埚本体连通的通气口，安装槽内设置有密封板，密封板下端设置第一弹簧，第一弹簧端部与安装槽底部固定连接，密封板两端侧壁对称开设有凹槽，凹槽内部设有限位块，限位块与凹槽通过第二弹簧固定连接，安装槽侧壁上端开设与限位块匹配的限位槽，坩埚盖上开设有与安装槽连通的通气道。通过该装置可以在硅微粉煅烧而坩埚内的气压增大可以利用气压顶开密封板将坩埚内的气压释放出去，利于水分挥发同时刮杆还来提高工作效率。

技术领域

本实用新型属于硅微粉煅烧技术领域，具体涉及一种硅微粉煅烧用石英坩埚。

背景技术

石英坩埚分透明和不透明两种，它可以在1450度以下使用，用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料，当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。它具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

而现有技术中硅微粉煅烧用的石英坩埚，主要在坩埚上盖开孔，在坩埚侧壁开孔，同时在坩埚锅沿处开槽，有利于挥发水分、有机物和氧气接触氧化，粉白、质量好，然而由于开孔和开槽的设置，在坩埚对溶液加热过程中，热量会由开孔和开槽散出，进而使得溶液加热时沸点所需的时间增长，降低煅烧效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅微粉煅烧用石英坩埚。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种硅微粉煅烧用石英坩埚，包括坩埚本体和坩埚本体上端的坩埚盖，所述坩埚盖的底面固定连接有刮杆，所述坩埚盖的上表面开设有安装槽，所述安装槽的底面开设有与坩埚本体内部连通的通气口，所述安装槽内设置有与安装槽匹配的密封板，所述密封板的下端设置有第一弹簧，所述第一弹簧的下端与安装槽的底部固定连接，所述密封板的周侧侧壁对称开设有凹槽，所述凹槽的内部设置有限位块，所述限位块与凹槽通过第二弹簧固定连接，所述安装槽的侧壁上端开设有与限位块匹配的限位槽，所述坩埚盖上开设有与安装槽连通的通气道。

优选的，所述刮杆包括上杆和下杆，所述上杆和下杆之间固定连接，所述上杆与坩埚本体的内壁紧密贴合，所述下杆与坩埚本体的内部底部紧密贴合。

优选的，所述坩埚盖的周侧设置有隔热层。

优选的，所述密封板的周侧设置有密封垫，所述密封垫采用橡胶材料制成，所述密封垫与密封板硫化连接。

优选的，所述密封板的端部与通气道的进气口处紧密贴合。

优选的，所述限位块的底部为倾斜设置，且倾斜角度为30-60度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该种硅微粉煅烧用石英坩埚，可以在硅微粉在坩埚本体内煅烧的过程中，因为坩埚内的反应使得内部气压增大，气体会冲进通气口内顶开密封板，使得气体从通气道内出去，实现硅微粉在煅烧中的水分充分的挥发，缩短了溶液的加热时间，提高硅微粉的煅烧效率。

2、该种硅微粉煅烧用石英坩埚，因为在煅烧过程中硅微粉会对坩埚内壁产生粘连的现象，而通过在坩埚盖的下端设置刮杆，可以转动坩埚盖来带动刮板旋转，因为刮杆紧贴坩埚的内壁和底端，所以可以刮掉硅微粉在煅烧过程对坩埚内壁产生的粘黏，使得在硅微粉在煅烧工作结束后方便硅微粉的倾倒。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型中坩埚的剖面结构示意图；