[实用新型]一种高导热散热装置有效

专利信息
申请号: 202021213059.6 申请日: 2020-06-28
公开(公告)号: CN212113698U 公开(公告)日: 2020-12-08
发明(设计)人: 魏涛;钱吉裕;吴进凯;秦超;阮文州 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十四研究所
主分类号: H01L23/367 分类号: H01L23/367;H01L23/373
代理公司: 南京知识律师事务所 32207 代理人: 刘丰;高娇阳
地址: 210039 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 导热 散热 装置
【说明书】:

本实用新型提出了一种高导热散热装置,所述装置自下而上依次由高导热底板、围框和盖板组成;高导热底板上且围框内设有至少一层HTCC基板,所述单层HTCC基板的上下表面中的至少一面用于放置发热器件;所述HTCC基板与高导热底板相连接的一面不放置发热器件。本实用新型提供的高导热散热装置利用大面积的HTCC基板和金刚石铝底板,解决了微波功率模块的高热流密度发热芯片的散热问题。

技术领域

本实用新型涉及微波功率模块领域,尤其涉及一种高导热散热装置。

背景技术

微波功率模块广泛应用于雷达、电子对抗、通信等军事和民用领域,随着GaN三代半导体材料的发展,集成度和功率不断提高,微波功率模块的发热量成倍提高,X波段功率芯片的热流密度达到200W/cm2甚至更高,对模块散热能力尤其是热传导提出了很大挑战。

目前国内的军用或者民用领域,微波功率模块发热芯片的热沉多采用钨铜、铜-钼铜等二代热管理材料,例如专利CN201310001249.X“层叠结构热沉材料及制备方法”中提到的铜-钼铜热沉材料,采用三层复合,实现钼铜或钨铜热沉的制备。专利CN200910213372.1“铜钼铜热沉材料及制备方法”中提到的铜钼铜热沉材料。封装壳体则是可伐、铝硅等一至三代热管理材料,例如专利CN201810044629.4“电子封装用可伐合金墙体的制备方法”中提到的可伐合金封装壳体,专利CN201510812388.X“一种梯度铝硅电子封装材料的制备方法”中提到的铝硅壳体封装材料。在部分高端应用领域,开始逐步应用金刚石铝、金刚石铜等第四代热沉材料,例如专利CN201710434894.9“一种用作电子封装材料的金刚石-铝复合材料”中提到的热沉材料,专利CN201520980982.5“金刚石铜热沉材料”中提到的热沉材料。金刚石基复合材料,虽然热导率高达约600W/m/K,是铝的3倍左右,由于金刚石颗粒的存在,导致难加工、成本高的缺点,一般只能通过研磨的办法实现平板结构。而对于微波功率模块的封装壳体而言,需要设计供电、射频接口以便安装连接端子,必然存在螺纹、倒角、阶梯孔等精细复杂结构,只能通过机加工方式完成,从而限制了金刚石基复合材料在封装壳体上的应用,因此封装壳体上应用金刚石基复合材料未见报道。

此外,在微波功率模块内部,LTCC基板应用非常广泛,随着基板功能扩展和集成度提高,功率芯片热沉的可用面积逐渐减小,在Ka等高频段,热沉面积甚至和芯片相当,没有发挥扩热作用。在高导热需求下,HTCC(High Temperature co-fired Ceramic,高温共烧陶瓷)基板也开始逐渐使用,例如专利CN201811144572.1“一种四通道微波T/R组件”中提到的基板材料,专利CN201520794769.5“一种TR组件的高密度组装结构”中提到的HTCC基板,同样存在热沉扩热面积不够的问题。

综合来看,为提高大功率微波功率模块的散热能力,亟需解决如何实现金刚石基高导热材料作为封装壳体应用,如何提高热沉的扩热能力的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的就是为了解决上述问题,提出了一种高导热散热装置,所述装置自下而上依次由高导热底板、围框和盖板组成;高导热底板上且围框内设有至少一层HTCC基板,所述单层HTCC基板的上下表面中的至少一面用于放置发热器件;所述HTCC基板与高导热底板相连接的一面不放置发热器件。

进一步地,所述发热器件为芯片,除最下层芯片外的任一芯片的功率不大于位于其下方的芯片的功率。

进一步地,所述高导热底板为金刚石铝复合材料,HTCC基板和高导热底板的热膨胀系数的差值大于等于-3ppm/K小于等于3ppm/K。

进一步地,所述HTCC基板为一层,上表面设置有凹腔,所述凹腔用于放置芯片,所述凹腔内的芯片的表面位于所在HTCC基板的上下表面之间,所述芯片在竖直方向上错位分布。

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