[实用新型]一种芯片制造用表面清灰装置

权利要求书

1.一种芯片制造用表面清灰装置，包括支撑座(1)，其特征在于：所述支撑座(1)的顶部固定连接有放置台(2)，所述放置台(2)的顶部固定连接有电动推杆(3)，所述电动推杆(3)的一端固定连接有放置板(20)，所述放置板(20)的底部活动连接有伸缩套杆(5)，所述伸缩套杆(5)的一端活动连接有活动杆(4)，所述活动杆(4)的一端与放置台(2)的顶部固定连接，所述放置板(20)的顶部开设有凹槽(19)，所述凹槽(19)的内壁活动连接有芯片主体(18)，所述放置台(2)的顶部固定连接有支架(11)，所述支架(11)的顶部固定连接有电机(9)，所述电机(9)的输出轴通过联轴器固定连接有转轴(8)，所述转轴(8)的一端贯穿支架(11)的顶部并延伸至支架(11)的底部；

所述转轴(8)的一端活动连接有连接杆(7)，所述连接杆(7)的一端固定连接有清理刷(6)，所述支撑座(1)的顶部固定连接有集尘箱(13)，所述集尘箱(13)的顶部固定连接有吸尘管(12)，所述吸尘管(12)的一端贯穿支架(11)的外壁并延伸至支架(11)的内壁，所述吸尘管(12)的外壁活动连接有固定杆(10)，所述吸尘管(12)的外壁与放置板(20)的顶部活动连接，所述吸尘管(12)的另一端固定连接有抽风机主体(14)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片制造用表面清灰装置，其特征在于：所述吸尘管(12)的一端贯穿集尘箱(13)的顶部并延伸至集尘箱(13)的一侧，且吸尘管(12)的数量为两个，且两个吸尘管(12)以支撑座(1)的中垂线为对称轴对称设置。

3.根据权利要求1所述的一种芯片制造用表面清灰装置，其特征在于：所述固定杆(10)的外壁开设有通孔(16)，且固定杆(10)通过通孔(16)与吸尘管(12)活动连接，且通孔(16)的内部固定连接有防护垫(17)，且防护垫(17)为海绵防护垫。

4.根据权利要求1所述的一种芯片制造用表面清灰装置，其特征在于：所述转轴(8)的一端开设有连接槽(15)，且连接槽(15)的内壁设置有内螺纹，所述连接杆(7)的外壁设置有外螺纹，且连接槽(15)通过内螺纹和外螺纹与连接杆(7)螺纹连接，所述清理刷(6)为圆形清理刷。

5.根据权利要求1所述的一种芯片制造用表面清灰装置，其特征在于：所述活动杆(4)的内壁直径大于伸缩套杆(5)的外壁直径，且活动杆(4)与伸缩套杆(5)伸缩连接。

6.根据权利要求1所述的一种芯片制造用表面清灰装置，其特征在于：所述集尘箱(13)的数量和抽风机主体(14)的数量均为两个，且每一个集尘箱(13)和每一个抽风机主体(14)为一组，且两组集尘箱(13)和抽风机主体(14)以支撑座(1)的中垂线为对称轴对称设置。

7.根据权利要求1所述的一种芯片制造用表面清灰装置，其特征在于：所述电机(9)的外壁固定连接有防护壳，且防护壳的内侧壁设置有固定块，且固定块的一侧与电机(9)的外壁固定连接。