[实用新型]自动夹持装置

说明书

本实用新型提供了一种自动夹持装置，包括治具本体、夹紧机构、夹持机构和限位块机构，所述夹紧机构、所述夹持机构与所述治具本体连接，所述限位块机构固定于所述治具本体上，其中，所述夹紧机构包括第一驱动件与顶推组件，所述第一驱动件与所述顶推组件通过驱动件连接块连接，所述驱动件连接块同时与所述治具本体连接。通过限位块机构对tray盘进行定位，并控制所述夹持机构的下压来夹持tray盘以及向下压平解决翘曲的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体行业内的激光加工技术领域，特别是涉及一种自动夹持装置。

背景技术

tray盘，又称料盘，是一种用于盛放加工零部件的器皿。采用激光加工技术对半导体芯片进行加工时，由于芯片需要装在tray盘里面，而tray盘是树脂材料，在吸塑成型的时候往往会有变形弯曲，翘曲产生。如不进行修正夹持可引起打标深度不良，打标线宽不合要求的情况，因此需要通过夹具将tray盘固定并将其夹持平整(将翘曲结构矫正)，以保证激光加工精度，并能在一定尺寸范围内兼容不同尺寸的tray盘。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：无法实现对tray盘的定位，夹持过程中容易出现tray盘的翘曲问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种自动夹持装置，包括治具本体、夹紧机构、夹持机构和限位块机构，所述夹紧机构、所述夹持机构与所述治具本体连接，所述限位块机构固定于所述治具本体上，其中，所述夹紧机构包括第一驱动件与顶推组件，所述第一驱动件与所述顶推组件通过驱动件连接块连接，所述驱动件连接块同时与所述治具本体连接。

进一步地，所述夹持机构为两组，分别安装于所述治具本体两侧，所述夹持机构包括两个第二驱动件与压块，两个第二驱动件通过驱动件连接板连接，其中，一个第二驱动件与所述压块连接，另一个第二驱动件通过所述驱动件连接板驱动连接有所述压块的第二驱动件相对另一组夹持机构作往复运动。

进一步地，所述夹持机构还包括气管接头与调速阀，所述调速阀通过所述气管接头与所述第一驱动件、第二驱动件连接。

进一步地，所述顶推组件包括顶针与限位螺丝，所述顶针通过限位螺丝连接于所述驱动件连接块上。

进一步地，所述顶推组件为两组，分别安装在所述驱动件连接块两侧。

进一步地，所述夹紧机构还包括滑块导轨，所述滑块导轨安装于所述第一驱动件两侧，所述第一驱动件通过所述滑块导轨于所述治具本体上进行往复运动。

进一步地，所述限位块机构包括第一限位块组与第二限位块组，所述第一限位块组和第二限位块组均设置于所述治具本体上，且所述第一限位块组与所述第二限位块组垂直设置，用于对待处理tray盘相邻两边进行限位。

进一步地，所述第一限位块组与所述第二限位块组均包括至少两个限位块。

进一步地，所述第一驱动件、第二驱动件上均安装有油压缓冲器。

进一步地，上述任一项还包括运动承载机构，所述运动承载机构包括X轴件、Y轴件、第一拖链与第二拖链，所述第一拖链与所述X轴件连接，所述第二拖链与所述Y轴件连接，所述X轴件与所述Y轴件安装于所述治具本体底部。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型提供了一种自动夹持装置，包括治具本体、夹紧机构、夹持机构和限位块机构，所述夹紧机构、所述夹持机构与所述治具本体连接，所述限位块机构固定于所述治具本体上，其中，所述夹紧机构包括第一驱动件与顶推组件，所述第一驱动件与所述顶推组件通过驱动件连接块连接，所述驱动件连接块同时与所述治具本体连接。通过将待加工的tray盘和装在所述tray盘里面的芯片放置于所述治具本体上，所述第一驱动件带动顶推组件将所述tray盘推向所述限位块机构，进行水平限位夹持，所述夹持机构夹持所述tray盘，将所述tray盘拱起部分夹持住且向下压平。通过限位块机构对tray盘进行定位，并控制夹持机构的下压来夹持tray盘以及向下压平解决翘曲的问题。