[实用新型]一种不对称电极与电磁力预载荷面外致动微泵有效
申请号: | 202021224353.7 | 申请日: | 2020-06-29 |
公开(公告)号: | CN212429158U | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 郭得雨;孙景昱;郭东杰 | 申请(专利权)人: | 郑州轻工业大学 |
主分类号: | F04B43/04 | 分类号: | F04B43/04 |
代理公司: | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人: | 张志军 |
地址: | 450002 *** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 不对称 电极 磁力 载荷 面外致动微泵 | ||
1.一种不对称电极与电磁力预载荷面外致动微泵,其特征在于:包括壳体(3),所述壳体(3)两侧设有进水管道和出水管道,所述进水管道和出水管道上设有瓣阀(4),所述壳体上部设有介电弹性体(1),介电弹性体(1)上方设有盖板,介电弹性体和盖板与壳体密封连接,所述介电弹性体靠近壳体腔室一侧设有软磁铁(2),所述壳体(3)底部与软磁铁(2)位置相应处设有电磁铁(5)。
2.根据权利要求1所述的不对称电极与电磁力预载荷面外致动微泵,其特征在于:所述壳体(3)底部与软磁铁位置相应处设有凹槽,所述电磁铁(5)设置在凹槽内。
3.根据权利要求1所述的不对称电极与电磁力预载荷面外致动微泵,其特征在于:所述介电弹性体(1)包括基底膜,所述基底膜两侧设有不同模量的电极。
4.根据权利要求1所述的不对称电极与电磁力预载荷面外致动微泵,其特征在于:所述软磁铁(2)通过键合的方式与介电弹性体固定连接,所述介电弹性体(1)设有软磁铁一侧设有硅橡胶薄膜,所述硅橡胶薄膜将介电弹性体和软磁铁作为一个整体进行封装。
5.根据权利要求3所述的不对称电极与电磁力预载荷面外致动微泵,其特征在于:所述电极通过导线和高压脉冲电源连接。
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