[实用新型]一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块

权利要求书

1.一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块，包括静压滑块(1)，其特征在于，还包括与静压滑块(1)配合的导轨(2)，所述静压滑块(1)包括本体(11)、气垫(12)、压电陶瓷驱动器(13)、薄膜(14)、多孔质材料(15)、碟形弹簧(16)、调节垫片(17)、螺栓(18)和位移传感器(19)；

所述本体(11)为中空式结构，其内设有工作腔，该工作腔内设置气垫(12)、压电陶瓷驱动器(13)、薄膜(14)、多孔质材料(15)、碟形弹簧(16)、调节垫片(17)；

所述本体(11)内与所述导轨(2)配合侧开有矩形槽A(117)，所述薄膜(14)的四周通过胶接或焊接的方式固定在矩形槽A(117)内，所述气垫(12)下部与薄膜(14)之间通过胶接或焊接的方式固定连接；

所述矩形槽A(117)内进一步开有预压气腔(113)，预压气腔(113)腔底与气垫(12)之间留有预压间隙(11-12)，以为气垫(12)的上下运动预留出运动空间；

所述预压气腔(113)内进一步开有圆柱腔A(114)、所述气垫(12)上部开有圆柱腔C(124)，所述压电陶瓷驱动器(13)一端设置在圆柱腔A(114)内，另一端设置在圆柱腔C(124)内；

所述气垫(12)与所述薄膜配合处开有圆柱腔B(123)，圆柱腔B(123)内设有多孔质材料(15)，多孔质材料(15)与导轨(2)之间形成气垫间隙(2-15)；

所述薄膜(14)上与所述多孔质材料的对应位置上开有薄膜通孔(142)。

2.根据权利要求1所述的一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块，其特征在于，所述圆柱腔A(114)的底部进一步设有环形凸台(115)，环形凸台(115)内设置调节垫片(17)，调节垫片(17)与压电陶瓷驱动器(13)之间设有碟形弹簧(16)。

3.根据权利要求2所述的一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块，其特征在于，所述环形凸台(115)上部进一步开有螺纹孔A(116)，螺纹孔A(116)内设有螺栓(18)。

4.根据权利要求1所述的一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块，其特征在于，所述气垫(12)为圆柱形；气垫(12)内部开有气压腔(122)。

5.根据权利要求1所述的一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块，其特征在于，所述薄膜(14)上在气垫(12)配合处的外侧设置有圆形柔性铰链(141)。

6.根据权利要求1所述的一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块，其特征在于，所述本体(11)侧面开有供气孔(111)，供气孔(111)与预压气腔(113)之间通过通气孔A(112)相互连通，所述气垫(12)外圆柱上至少开有2个通气孔B(121)，以连通预压气腔(113)与气压腔(122)。

7.根据权利要求1所述的一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块，其特征在于，所述本体(11)上部还开有矩形槽B(118)，矩形槽B(118)内进一步开有传感器安装孔(119)，位移传感器(19)设置在传感器安装孔(119)内，所述位移传感器(19)的测量端位于静压滑块(1)与导轨(2)配合处。

8.根据权利要求1所述的一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块，其特征在于，所述本体(11)上部设有螺纹孔B(1110)。

9.根据权利要求7所述的一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块，其特征在于，所述圆柱腔A(114)内进一步设有密封圈A(1111)，所述传感器安装孔(119)内进一步设有密封圈B(1112)。