[实用新型]一种晶圆蒸镀伞架

说明书

本实用新型公开了一种晶圆蒸镀伞架，包括本体，在本体上开设复数个伞架槽，每一个伞架槽至少具有一个让位槽，伞架槽之间通过让位槽连通；复数个伞架槽形成外放置圈和内放置圈，内放置圈的伞架槽至少与一外放置圈的伞架槽连通；在内放置圈中，伞架槽至少与内放置圈的另一伞架槽连通，至少一相邻两个伞架槽之间不连通；在外放置圈中，每个伞架槽都具有一个沿本体边缘开设的让位槽，或者，部分伞架槽的让位槽沿本体边缘开设，另一部分未沿本体边缘开设让位槽的伞架槽与沿本体边缘开设让位槽的伞架槽连通。本实用新型不但可以快速放置晶圆，而且还能避免污染或刮伤晶圆表面。

技术领域

本实用新型属于半导体治具的技术领域，特别涉及一种晶圆蒸镀伞架。

背景技术

如图1所示，现有的晶圆蒸镀伞架，包括本体1，在本体1上开设一个安装孔11和复数个伞架槽12，伞架槽12为圆形，晶圆放置在伞架槽12内。安装孔11的周围设有复数个螺栓111，在蒸镀机台转轴的周围设有与螺栓111适配的螺母，转轴穿设在安装孔11中，将螺栓111和螺母锁紧，即将晶圆蒸镀伞架安装在蒸镀机台的镀膜腔体内，并且可以通过驱动转轴转动带动蒸镀伞架旋转。蒸镀机台的转轴和轴孔的安装方式属于现有技术，还可以有其他方式，在此不予赘述。

在使用现有的蒸镀机台时，例如：当需要在晶圆背面蒸镀一层1000A的镍，在上料作业步骤中，需要先使用真空吸笔将晶圆从晶圆盒取出后，从晶圆正面（上方）用手直接抓住晶圆的边缘，再用真空吸笔穿过本体1的伞架槽12，再从晶圆背面（下方）吸住晶圆后，带动晶圆往下运动，使得晶圆放置在蒸镀架的伞架槽12内。会存在以下问题：

1．放置晶圆的步骤较多，不能迅速把晶圆放置好；

2．存在污染晶圆表面和边缘，导致在后续黄光的制程中脏污问题；

3．用手直接抓住晶圆的边缘，不但容易刮伤晶圆表面，而且若手使用力度不当，有可能产生衬底缺角或破碎问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种晶圆蒸镀伞架，不但可以快速放置晶圆，而且还能避免污染或刮伤晶圆表面。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术解决方案是：

一种晶圆蒸镀伞架，包括本体，在本体上开设复数个伞架槽，每一个伞架槽至少具有一个让位槽，伞架槽之间通过让位槽连通；复数个伞架槽形成外放置圈和内放置圈，内放置圈的伞架槽至少与一外放置圈的伞架槽连通，在内放置圈中，伞架槽至少与内放置圈的另一伞架槽连通，至少一相邻两个伞架槽之间不连通；在外放置圈中，每个伞架槽都具有一个沿本体边缘开设的让位槽，或者，部分伞架槽的让位槽沿本体边缘开设，另一部分未沿本体边缘开设让位槽的伞架槽与沿本体边缘开设让位槽的伞架槽连通。

进一步，在内放置圈中三个伞架槽为一组，三个伞架槽分别是左伞架槽、中伞架槽和右伞架槽，中伞架槽具有三个让位槽，分别与左伞架槽、右伞架槽和外放置圈的伞架槽连通。

进一步，伞架槽为圆形，位于内放置圈的伞架槽圆心处于同一个圆，位于外放置圈的伞架槽圆心处于同一个圆，由内放置圈伞架槽圆心形成的圆和由外放置圈伞架槽圆心形成的圆为同心圆。

进一步，本体为一次成型或拼接成型。

进一步，在本体上开设容纳蒸镀机台转轴的安装孔，在安装孔的周围设有复数个螺栓。

一种晶圆蒸镀伞架，包括本体，在本体上开设安装孔和复数个伞架槽，每一个伞架槽至少具有一个让位槽，伞架槽之间通过让位槽连通，复数个伞架槽形成外放置圈和内放置圈，内放置圈的伞架槽至少与一外放置圈的伞架槽连通；在内放置圈中，两个伞架槽之间不连通；在外放置圈中，每个伞架槽都具有一个沿本体边缘开设的让位槽，或者，部分伞架槽的让位槽沿本体边缘开设，另一部分未沿本体边缘开设让位槽的伞架槽与沿本体边缘开设让位槽的伞架槽连通。