[实用新型]一种用于静压导轨的主动控制油垫静压滑块模块

权利要求书

1.一种用于静压导轨的主动控制油垫静压滑块模块，包括静压滑块（1），其特征在于，还包括与静压滑块（1）配合的导轨（2），所述静压滑块（1）包括本体（11）、压电陶瓷驱动器（12）、静压油垫（13）、薄膜（14）、挡板（15）和位移传感器（16）；

所述本体（11）为中空式结构，其内设有工作腔，该工作腔内设置压电陶瓷驱动器(12）、静压油垫（13）和薄膜（14）；

所述本体（11）内与所述导轨（2）配合侧开有矩形槽A（117），所述薄膜（14）的四周通过胶接或焊接的方式固定在矩形槽A（117）内，所述静压油垫（13）下部与薄膜（14）之间通过胶接或焊接的方式固定连接；

所述矩形槽A（117）内开有预压腔（116），预压腔（116）的腔底与所述静压油垫（13）之间留有预压间隙（11-13），以为所述静压油垫（13）的上下运动预留出运动空间；

所述预压腔（116）内开有圆柱腔A（115）、所述静压油垫（13）上部开有圆柱腔B（133），所述压电陶瓷驱动器（12）的一端设置在圆柱腔A（115）内，另一端设置在圆柱腔B（133）内；

所述薄膜（14）与导轨（2）之间形成油垫间隙（2-14），通过控制所述压电陶瓷驱动器（12）的伸长或缩短，可以实现对油垫间隙（2-14）大小的主动控制。

2.根据权利要求1所述的一种用于静压导轨的主动控制油垫静压滑块模块，其特征在于，本体（11）上部开有矩形槽B（119），矩形槽B（119）内开有矩形微槽（113），所述挡板（15）设置在矩形槽B（119）内，在所述挡板（15）装配安装后，使得矩形微槽（113）处形成了一个封闭的矩形微槽节流器。

3.根据权利要求1所述的一种用于静压导轨的主动控制油垫静压滑块模块，其特征在于，所述静压油垫（13）为圆柱形，其与所述薄膜（14）配合处开有静压油腔（132），且所述薄膜（14）上与静压油腔（132）的对应位置上开有薄膜通孔（142）。

4.根据权利要求3所述的一种用于静压导轨的主动控制油垫静压滑块模块，其特征在于，所述薄膜（14）上在静压油垫（13）配合处的外侧设置有圆形柔性铰链（141）。

5.根据权利要求1所述的一种用于静压导轨的主动控制油垫静压滑块模块，其特征在于，所述本体（11）侧面开有供油孔（111），供油孔（111）与矩形微槽（113）之间通过通油孔A（112）连接，所述压电陶瓷驱动器（12）内设有通孔（121），通孔（121）与矩形微槽（113）之间通过通油孔B（114）连接，通孔（121）通过通油孔C（131）与静压油腔（132）连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于静压导轨的主动控制油垫静压滑块模块，其特征在于，所述供油孔（111）与所述预压腔（116）之间通过毛细管节流器（118）相互连通。

7.根据权利要求1所述的一种用于静压导轨的主动控制油垫静压滑块模块，其特征在于，所述本体（11）上部开有矩形槽C（1110），矩形槽C（1110）内开有传感器安装孔（1111），位移传感器（16）设置在传感器安装孔（1111）内，位移传感器（16）的测量端位于所述静压滑块（1）与所述导轨（2）配合处。

8.根据权利要求1所述的一种用于静压导轨的主动控制油垫静压滑块模块，其特征在于，所述本体（11）上部设有螺纹孔B（1113）。

9.根据权利要求7所述的一种用于静压导轨的主动控制油垫静压滑块模块，其特征在于，所述圆柱腔A（115）内设有密封圈A（17），所述圆柱腔B（133）内设有密封圈B（18），所述传感器安装孔（1111）内设有密封圈C（19）。