[实用新型]涂胶显影设备专用恒温恒湿设备有效
申请号: | 202021227809.5 | 申请日: | 2020-06-29 |
公开(公告)号: | CN212720078U | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 李超 | 申请(专利权)人: | 西安稳能微电子科技有限公司 |
主分类号: | F24F5/00 | 分类号: | F24F5/00;G03F7/16;G03F7/26 |
代理公司: | 汉中市铭源专利代理事务所(普通合伙) 61235 | 代理人: | 周沛臣 |
地址: | 710000 陕西省西安市高新*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 涂胶 显影 设备 专用 恒温 | ||
本实用新型涉及工业领域,尤其涉及涂胶显影设备专用恒温恒湿设备。涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水通过管道连接集合水箱(5),集合水箱(5)连接热交换器(4),厂务端工业纯水进入端(1)也连接热交换器(4),涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水与厂务端工业纯水进入端(1)来的低温工业纯水在热交换器(4)中能够进行热交换,热交换完成后的目标控制纯水能够从厂务端工业纯水出水端(2)流出,流出后能够通过管道流动到加热水箱(6),该连接加热水箱(6)的管道上包含温度传感器(3)。1.缩短热交换完成后升温的纯水降温速度。2。缩短总体纯水降温加热的速度。3.提高精密度。
技术领域
本实用新型涉及工业领域,尤其涉及涂胶显影设备专用恒温恒湿设备。
背景技术
涂胶显影设备专用恒温恒湿设备通过冷冻机原理将工业纯水进行冷却后加热,对于控制完成的工业纯水上流至涂胶显影设备热板马达进行热交换后,重新回流至恒温恒湿设备纯水控制的水箱,通过冷冻机原理先将热交换完成后的纯水温度降低,最后在利用电子加热棒的方式进行加热,使其达到目标控制温度。
实用新型内容
实用新型的目的:为了提供一种效果更好的涂胶显影设备专用恒温恒湿设备,具体目的见具体实施部分的多个实质技术效果。
为了达到如上目的,本实用新型采取如下技术方案:
涂胶显影设备专用恒温恒湿设备,其特征在于,涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水通过管道连接集合水箱5,集合水箱5连接热交换器4,厂务端工业纯水进入端1也连接热交换器4,涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水与厂务端工业纯水进入端1来的低温工业纯水在热交换器4中能够进行热交换,热交换完成后的目标控制纯水能够从厂务端工业纯水出水端2流出,流出后能够通过管道流动到加热水箱6,该连接加热水箱6的管道上包含温度传感器3。
本实用新型进一步技术方案在于,热交换器4连接厂务端工业纯水出水端2的管道上包含电子阀门7,能够用电子阀门7来控制厂务端工业纯水出水端的量,温度传感器用来设定目标温度,通过工业 PC将数值传输给控制器一次来控制电子阀门7的开合度。
本实用新型进一步技术方案在于,温度传感器通信连接着工业 PC和控制器以及主板,主板通信连接着电子阀门7。
本实用新型进一步技术方案在于,设定目标温度是通过人机交互模块来实现的,该人机交互模块通信连接着工业PC和控制器以及主板。
采用如上技术方案的本实用新型,相对于现有技术有如下有益效果:1.缩短热交换完成后升温的纯水降温速度。2。缩短总体纯水降温加热的速度。3.提高精密度。
附图说明
为了进一步说明本实用新型,下面结合附图进一步进行说明:
图1为实用新型结构示意图;
其中:1.厂务端工业纯水进入端;2.厂务端工业纯水出水端;3. 温度传感器;4.热交换器;5.集合水箱;6.加热水箱;7.电子阀门。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式,进一步阐明本实用新型,应理解下述具体实施方式仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
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